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半导体器件制造工艺及设备
基于Petri Net的双臂组合设备的故障响应策略的研究
硅微通道阵列氧化绝缘技术及应力问题研究
激光干涉光刻的极限尺寸研究
硅微通道板电化学微加工等径控制技术研究
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基于扫描拼接的大面积光刻技术研究
N型宏孔硅光电化学腐蚀的电流自动控制技术研究
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现代半导体制造中质量控制和评价的关键技术研究
高精度掩模版电子束光刻关键技术研究
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基于数字微镜芯片的无模光刻微加工技术研究
具有复杂结构的硅基MEMS压力敏感膜片的制作及其应用研究
THz光栅结构UV-LIGA光刻工艺研究
光学材料均匀性对光学系统像质影响研究
应用于深亚波长光刻的光学邻近校正技术研究
光伏多晶硅片多线切割机理与工艺的研究
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提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备
半导体火工桥薄膜及扩磷工艺研究
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基于变动性的半导体制造生产线性能预测与优化策略研究
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不确定环境下半导体制造系统瓶颈预测与调度方法研究
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电容式微机械体声波硅谐振器的研制
流体点胶过程流动分析与数值仿真
多晶硅反相器交流工作条件下的可靠性研究
基于表面等离子体激元的纳米结构产生和光刻技术
基于氮化铝（AlN）薄膜的薄膜体声波谐振器（FBAR）研究
过渡金属氧化物阻变存储器动态特性的蒙特卡洛仿真
光栅刻划机摩擦驱动机构动力分析
二元过渡金属氧化物的阻变存储器研究
毛细力光刻技术及其应用研究
基于多孔氧化铝膜的硅基锗纳米异质外延的研究
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