| 中文摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·本课题研究背景 | 第9-10页 |
| ·光伏硅片切割技术综述 | 第10-12页 |
| ·金刚石线多线切割技术在国内外发展现状 | 第12-16页 |
| ·本课题的研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 JKEDWS500金刚石线多线切割机简介 | 第17-21页 |
| ·金刚石线多线切割机的设计要求 | 第17-18页 |
| ·金刚石线多线切割机各组成部分的功能介绍 | 第18-20页 |
| ·切割机机械结构的组成部分 | 第18-19页 |
| ·切割机控制部分的硬件配置 | 第19页 |
| ·切割机关键工艺参数的确定 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 金刚石线多线切割机切割硅片的切除机理 | 第21-35页 |
| ·单晶硅的基本力学特性 | 第21-22页 |
| ·硬脆材料的切除机理 | 第22-23页 |
| ·金刚石线切割机JKEDWS500加工硅片的切除机理 | 第23-33页 |
| ·单颗金刚石颗粒最大加工深度的研究 | 第24-27页 |
| ·金刚石线上颗粒数和面积的数据统计 | 第27-29页 |
| ·单颗金刚石颗粒切割的深度分析 | 第29-30页 |
| ·单根金刚石线能承受的最大张紧力分析 | 第30-31页 |
| ·工件最大恒进给力的确定 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第4章 金刚石多线切割机切割硅棒的试验研究 | 第35-47页 |
| ·硅棒切割的试验条件 | 第35-37页 |
| ·硅棒切割的试验方法 | 第37-39页 |
| ·加工参数的取值范围 | 第37页 |
| ·试验方案和结果分析 | 第37-39页 |
| ·加工参数与金刚石线磨损的关系 | 第39-42页 |
| ·金刚石线的磨损形式 | 第40-41页 |
| ·加工参数对金刚石线磨损的影响 | 第41-42页 |
| ·加工参数与硅片表面质量的关系 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-47页 |
| 第5章 金刚石线切割硅棒的有限元分析 | 第47-63页 |
| ·单颗金刚石颗粒锯切力的计算公式 | 第47-50页 |
| ·单颗金刚石颗粒的锯切力与总锯切力的关系 | 第50-51页 |
| ·单颗金刚石颗粒切割硅棒的应力与变形量的有限元分析 | 第51-57页 |
| ·有效金刚石颗粒锯切力的确定 | 第51-52页 |
| ·单根金刚石线切割硅棒的有限元模型 | 第52-56页 |
| ·仿真结果分析 | 第56-57页 |
| ·运用断裂力学对单根金刚石线切割硅棒的有限元分析 | 第57-61页 |
| ·基于断裂力学的硅棒形成过程 | 第57-58页 |
| ·硅棒裂纹形成的有限元分析 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第6章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |