基于变动性的半导体制造生产线性能预测与优化策略研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题背景及意义 | 第10-12页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·研究意义 | 第11-12页 |
| ·国内外发展现状 | 第12-15页 |
| ·半导体制造生产线的优化研究现状 | 第12-14页 |
| ·变动性研究现状 | 第14-15页 |
| ·研究目标及内容 | 第15-16页 |
| ·研究方案 | 第16-18页 |
| ·论文结构 | 第18-20页 |
| 第二章 半导体制造及变动性理论基础研究 | 第20-33页 |
| ·半导体制造简介及特点分析 | 第20-22页 |
| ·生产线性能常用的三大绩效量度 | 第22-23页 |
| ·变动性理论基础研究 | 第23-32页 |
| ·变动性的定义、类型及量度 | 第23-24页 |
| ·变动性的起因 | 第24-29页 |
| ·加工时间变动性的相关参数 | 第25-27页 |
| ·流动变动性的相关参数 | 第27-29页 |
| ·变动性的交互—排队 | 第29-32页 |
| ·排队系统的绩效量度 | 第29-30页 |
| ·常见的队列 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 基于变动性的生产线性能预测及验证 | 第33-60页 |
| ·生产线性能预测建模的难点分析 | 第33-34页 |
| ·生产线性能预测模型的建立 | 第34-53页 |
| ·生产线和生产周期概念的引入 | 第34-35页 |
| ·生产线性能预测模型的建立与完善 | 第35-47页 |
| ·模型的选择与改进 | 第36-39页 |
| ·模型的完善 | 第39-47页 |
| ·模型相关参数的获取 | 第47-53页 |
| ·模型的输入与输出分析 | 第47-48页 |
| ·实际生产过程中参数的获取 | 第48-53页 |
| ·生产线性能预测模型实例验证 | 第53-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第四章 生产线优化策略的建立与应用 | 第60-80页 |
| ·生产周期性能评估方法的引入 | 第60-64页 |
| ·基于利特尔法则的评估方法的引入 | 第60-62页 |
| ·生产性能评估方法的改进 | 第62-63页 |
| ·生产线性能评估实例 | 第63-64页 |
| ·生产线优化策略的建立与应用 | 第64-74页 |
| ·“全局指导-性能优化”策略的主要步骤 | 第64-66页 |
| ·优化策略的应用 | 第66-74页 |
| ·半导体制造生产线生产线性能预测模型的应用 | 第66-70页 |
| ·三大标杆评估方法的应用 | 第70-74页 |
| ·生产线性能预测辅助工具的实现 | 第74-79页 |
| ·系统背景、运作流程、功能和数据库设计 | 第74-76页 |
| ·系统实现 | 第76-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第五章 总结与展望 | 第80-82页 |
| ·本文总结 | 第80-81页 |
| ·展望 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第87-88页 |
