| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 目录 | 第10-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-28页 |
| ·纳米压印光刻技术 | 第15-18页 |
| ·经典的纳米压印光刻技术 | 第16-17页 |
| ·改进的纳米压印光刻技术——步进-闪光压印光刻技术 | 第17-18页 |
| ·软光刻技术 | 第18-25页 |
| ·弹性模板 | 第19-21页 |
| ·微接触压印技术 | 第21-22页 |
| ·复制成型技术 | 第22-23页 |
| ·微传递成型技术 | 第23页 |
| ·毛细管微成型技术 | 第23-25页 |
| ·毛细力光刻技术的发展概况及其研究意义 | 第25-26页 |
| ·论文的研究内容 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第2章 毛细力光刻技术简介 | 第28-48页 |
| ·温度辅助的毛细力光刻技术 | 第29-32页 |
| ·工艺流程 | 第29-30页 |
| ·技术讨论 | 第30-32页 |
| ·溶剂辅助的毛细力光刻技术 | 第32-37页 |
| ·毛细吸收固化成型技术 | 第32-34页 |
| ·毛细去湿模塑成型技术 | 第34-35页 |
| ·毛细去湿蒸发成型技术 | 第35-37页 |
| ·紫外固化辅助的毛细力光刻技术 | 第37-39页 |
| ·毛细力光刻技术的应用 | 第39-47页 |
| ·特殊结构的制作 | 第39-45页 |
| ·细胞和组织工程上的应用 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第3章 毛细力光刻技术的理论基础 | 第48-67页 |
| ·毛细现象 | 第48-51页 |
| ·人们对毛细现象的认识历程 | 第48-50页 |
| ·玻璃管中的毛细现象 | 第50-51页 |
| ·毛细现象中的基本概念 | 第51-56页 |
| ·表面张力与表面自由能 | 第51-53页 |
| ·润湿和不润湿 | 第53页 |
| ·接触角理论 | 第53-56页 |
| ·毛细静力学理论 | 第56-65页 |
| ·Young-Laplace 方程 | 第56-58页 |
| ·弯曲液面的附加压力 | 第58-60页 |
| ·毛细力的概念 | 第60-61页 |
| ·附加压力对毛细现象的影响 | 第61-65页 |
| ·毛细动力学理论 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第4章 三维曲面上毛细力光刻技术的应用 | 第67-80页 |
| ·三维曲面上微纳结构制作方法介绍 | 第67-72页 |
| ·曲面激光直接写入技术 | 第67-68页 |
| ·曲面贴花转印光刻技术 | 第68-70页 |
| ·光学软光刻技术 | 第70-72页 |
| ·利用毛细力光刻技术在三维曲面上制作微纳结构 | 第72-74页 |
| ·实验材料及 PDMS 模板准备 | 第72-73页 |
| ·实验工艺流程 | 第73-74页 |
| ·实验结果和讨论 | 第74-79页 |
| ·微米同心圆环结构 | 第74-76页 |
| ·纳米衍射光栅结构 | 第76-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第5章 去润湿辅助的毛细力光刻技术研究 | 第80-93页 |
| ·聚合物薄膜去润湿现象 | 第80-83页 |
| ·去润湿现象机理 | 第81-82页 |
| ·毛细力光刻技术中的去润湿现象 | 第82-83页 |
| ·实验过程 | 第83-86页 |
| ·实验材料及 PDMS 模板准备 | 第83-84页 |
| ·实验工艺流程 | 第84-86页 |
| ·实验结果和讨论 | 第86-92页 |
| ·半周期样品的瞬态结果讨论 | 第86-88页 |
| ·半周期样品的形成过程分析 | 第88-90页 |
| ·半周期样品分辨率加倍的理论解释 | 第90-92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 第6章 亚波长抗反射结构的制备 | 第93-110页 |
| ·等效介质理论 | 第94-96页 |
| ·亚波长抗反射结构制作方法 | 第96-100页 |
| ·利用毛细力光刻技术制作亚波长抗反射结构 | 第100-102页 |
| ·实验材料、样品制作及表征 | 第100页 |
| ·实验结果和讨论 | 第100-102页 |
| ·利用软光刻技术制作亚波长抗反射结构 | 第102-109页 |
| ·实验材料、样品制作及表征 | 第102-104页 |
| ·实验结果和讨论 | 第104-109页 |
| ·本章小结 | 第109-110页 |
| 第7章 基于相场方法的毛细仿真研究 | 第110-127页 |
| ·相场方法基础理论 | 第110-112页 |
| ·创建 COMSOL 仿真模型 | 第112-117页 |
| ·几何模型 | 第113-114页 |
| ·求解域控制方程 | 第114-115页 |
| ·常量、求解域及边界条件设置 | 第115-117页 |
| ·网格划分及初始化 | 第117页 |
| ·仿真结果及讨论 | 第117-126页 |
| ·毛细管直径对气液界面上升高度的影响 | 第117-119页 |
| ·接触角大小对气液界面上升高度的影响 | 第119-121页 |
| ·最终状态下封闭毛细管空腔内气体压强的讨论 | 第121-123页 |
| ·毛细管中气液界面的瞬态位置分析 | 第123-124页 |
| ·实验结果与仿真结果的比较分析 | 第124-126页 |
| ·本章小结 | 第126-127页 |
| 第8章 结论与展望 | 第127-130页 |
| ·论文的研究成果及创新点 | 第127-128页 |
| ·进一步研究工作展望 | 第128-130页 |
| 参考文献 | 第130-141页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第141-142页 |
| 指导教师及作者简介 | 第142-143页 |
| 致谢 | 第143页 |