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基于表面等离子体激元的纳米结构产生和光刻技术

中文摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章 绪论第9-17页
   ·研究背景第9页
   ·研究现状第9-15页
   ·本论文的主要内容第15-17页
第二章 表面等离子体激元的基本原理和研究方法第17-29页
   ·引言第17页
   ·Drude 模型第17-18页
   ·表面等离子体激元的色散关系第18-21页
   ·表面等离子体激元的激发方式第21-23页
     ·棱镜耦合激发第21-22页
     ·光栅耦合激发第22-23页
     ·近场耦合激发第23页
   ·超透镜原理第23-27页
   ·时域有限差分(FDTD)数值计算方法第27-28页
   ·本章小结第28-29页
第三章 双光束表面等离子体共振腔超衍射极限的纳米光刻技术第29-41页
   ·引言第29页
   ·双光束表面等离子体共振腔的纳米光刻技术原理第29-31页
   ·双光束表面等离子体共振腔的特性分析第31-32页
   ·双光束表面等离子体共振腔纳米光刻结构参数对纳米点阵的影响第32-40页
     ·光刻胶厚度对纳米点阵的影响第32-34页
     ·光栅材料对纳米点阵的影响第34-35页
     ·光栅周期对纳米点阵的影响第35页
     ·光栅狭缝对纳米点阵的影响第35-37页
     ·入射光波长对纳米点阵的影响第37-38页
     ·金属层的厚度对纳米点阵的影响第38页
     ·光栅栅线相对方位对纳米点阵排布的影响第38-40页
   ·本章小结第40-41页
第四章 基于像空间表面等离子体共振腔的超透镜成像第41-53页
   ·引言第41页
   ·基于表面等离子体共振腔的超透镜成像结构第41-42页
   ·超透镜成像系统数值模拟第42-47页
   ·超透镜成像系统理论分析第47-52页
     ·传输矩阵第47-50页
     ·理论分析第50-52页
   ·本章小结第52-53页
第五章 总结与展望第53-55页
   ·总结第53页
   ·展望第53-55页
参考文献第55-60页
攻读硕士学位期间公开发表的论文第60-61页
致谢第61-62页

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