电容式微机械体声波硅谐振器的研制

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第一章 绪论	第8-19页
·RF MEMS的概述	第8-9页
·MEMS谐振器的概述	第9-10页
·电容式MEMS谐振器国内外研究现状	第10-16页
·国外研究现状	第10-15页
·国内研究现状	第15-16页
·论文主要工作	第16-17页
参考文献	第17-19页
第二章 微机械体声波硅谐振器的设计	第19-39页
·电容式体声波硅谐振器的结构	第19-20页
·体谐振器的工作原理	第20-21页
·体硅谐振器的建模分析	第21-26页
·动力学建模	第21-23页
·电学建模	第23-26页
·体谐振器评价指标设计	第26-37页
·谐振频率f_0	第26-29页
·品质因数Q	第29-33页
·谐振电阻R_m	第33-37页
参考文献	第37-39页
第三章 体硅谐振器的版图设计及工艺制造	第39-54页
·体硅谐振器的主要工艺流程	第39-40页
·体硅谐振器的版图设计	第40-43页
·工艺中的难点分析	第43-53页
·DRIE刻蚀深沟槽	第43-44页
·深沟槽内涂胶、曝光与显影	第44-50页
·深沟槽内淀积多晶硅	第50-53页
参考文献	第53-54页
第四章 电学仿真分析及测试平台的搭建	第54-66页
·体硅谐振器的电学仿真	第54-60页
·单端口和双端口的电学仿真	第54-58页
·馈入电容C_(op)电容对S_(21)的影响	第58-60页
·Q对S_(21)的影响	第60页
·测试平台的搭建	第60-63页
·测试注意事项及平台检验实验	第63-65页
参考文献	第65-66页
第五章 结论及未来工作	第66-68页
·工作总结	第66页
·未来展望	第66-68页
攻读硕士学位期间发表的论文	第68-69页
致谢	第69-70页