| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-37页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第13-14页 |
| ·相关领域的研究现状 | 第14-34页 |
| ·光刻技术发展现状 | 第14-16页 |
| ·纳米光刻技术的前景展望 | 第16-17页 |
| ·现代光学测试技术的发展现状 | 第17-20页 |
| ·纳米光刻对准方法及其原理 | 第20-34页 |
| ·本章小结 | 第34-37页 |
| 第2章 激光干涉测量系统原理分析 | 第37-49页 |
| ·光干涉的基础理论 | 第37-42页 |
| ·光波的相干条件 | 第37-39页 |
| ·干涉条纹的对比度 | 第39-41页 |
| ·产生干涉的途径 | 第41-42页 |
| ·激光干涉测量系统测量原理 | 第42-43页 |
| ·激光干涉测量方法理论模拟实验 | 第43-46页 |
| ·激光干涉测量方法检测平面间平行度 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第3章 移相干涉法测量平面平行度方法研究 | 第49-73页 |
| ·移相干涉测量方法的基本原理 | 第49-52页 |
| ·常见的移相方法 | 第52-54页 |
| ·光栅衍射移相 | 第52页 |
| ·偏振移相 | 第52-53页 |
| ·压电晶体移相 | 第53页 |
| ·空间移相法 | 第53-54页 |
| ·波长移相法 | 第54页 |
| ·PZT 移相干涉测量方法实验设计 | 第54-55页 |
| ·移相干涉测量方法算法研究 | 第55-60页 |
| ·三步移相算法 | 第56-57页 |
| ·四步移相法 | 第57-59页 |
| ·Carre 方法和 Carre 平均法 | 第59-60页 |
| ·解包相位 | 第60-69页 |
| ·解包相位原理 | 第60-61页 |
| ·解包相位算法 | 第61-69页 |
| ·干涉系统误差的消除方法 | 第69-70页 |
| ·模拟计算结果分析 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第4章 纳米间距检测方法 | 第73-89页 |
| ·间距检测方法概述 | 第73-74页 |
| ·SPR 用于检测微小角度的方法 | 第74-83页 |
| ·基于 Krestchmann-Raether (KR) 结构的纳米间距检测方法 | 第83-87页 |
| ·本章小结 | 第87-89页 |
| 第5章 纳米间距的 SPR 检测方法研究 | 第89-105页 |
| ·SPR 传感器结构以及其结构对本身性质的影响分析 | 第89-93页 |
| ·纳米间距 SPR 检测方法原理 | 第93-94页 |
| ·纳米间距与角度偏移量的函数关系以及模拟结果分析 | 第94-96页 |
| ·角度偏移量与位相改变量的函数关系以及模拟结果分析 | 第96-97页 |
| ·纳米间距与位相改变量之间的函数关系以及模拟结果分析 | 第97-99页 |
| ·纳米间距检测方法的分辨率及检测敏感度分析 | 第99-102页 |
| ·本章小结 | 第102-105页 |
| 第6章 结论与展望 | 第105-109页 |
| ·结论 | 第105-107页 |
| ·展望 | 第107-109页 |
| 参考文献 | 第109-119页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第119-121页 |
| 指导教师及作者简介 | 第121-123页 |
| 致谢 | 第123页 |
