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现代半导体制造中质量控制和评价的关键技术研究

作者简介第1-4页
摘要第4-6页
ABSTRACT第6-11页
第一章 绪论第11-21页
   ·研究背景第11-14页
     ·多品种小批量生产过程的质量控制第12-13页
     ·产品质量评价第13-14页
   ·国内外研究进展和现状第14-19页
     ·质量过程控制研究综述第14-17页
     ·产品质量及工艺评价研究综述第17-19页
   ·本文的研究内容及作者的主要工作第19-21页
第二章 过程控制与工艺评价的原理第21-30页
   ·统计过程控制概述第21-26页
     ·基本概念第21-22页
     ·控制图技术第22-26页
   ·工序能力指数概述第26-29页
     ·潜在工序能力指数 C_p第26-27页
     ·实际工序能力指数 C_pk第27-28页
     ·实际工序能力指数 C_pk的局限性第28-29页
   ·小结第29-30页
第三章 多品种小批量生产环境的质量控制第30-48页
   ·引言第30页
   ·多品种小批量生产过程均值监控第30-34页
     ·T 统计量的定义第31-33页
     ·T 控制图控制限的确定第33-34页
   ·多品种小批量生产过程标准偏差监控第34-39页
     ·工艺参数母体标准偏差已知第34-36页
     ·工艺参数母体标准偏差未知第36-39页
   ·常规多品种控制图与 T-K 控制图对比第39-44页
     ·DNOM 和 Standardized DNOM 控制图第40-41页
     ·Z-S 控制图第41-44页
   ·T-K 控制图应用示例第44-47页
     ·示例 1第44-45页
     ·示例 2第45-46页
     ·示例 3第46-47页
   ·小结第47-48页
第四章 T-K 控制图性能分析第48-70页
   ·平均运行长度第48-50页
     ·平均运行长度的概念第48-49页
     ·传统控制图的平均运行长度第49-50页
   ·T 控制图性能分析第50-58页
     ·工艺参数母体均值已知第50-51页
     ·工艺参数母体均值未知第51-58页
   ·K 控制图性能分析第58-60页
     ·工艺参数母体标准偏差已知第58-59页
     ·工艺参数母体标准偏差未知第59-60页
   ·Self-Starting 控制图的优化第60-69页
     ·影响 Self-Starting 控制图性能的原因第61-62页
     ·Self-Starting 控制图的优化策略第62-65页
     ·Self-Starting 控制图的优化结果第65-69页
   ·小结第69-70页
第五章 基于成品率的多变量工序能力指数第70-89页
   ·引言第70页
   ·工序能力指数与成品率的关系第70-72页
   ·基于 6σ策略的等效工序能力指数第72-75页
     ·ECpk指数的概念第72-74页
     ·ECpk指数的计算方法第74-75页
   ·多变量工序能力指数 MECpk第75-81页
     ·MECpk的计算步骤第75-76页
     ·多元正态分布累积分布函数的高精度计算第76-81页
   ·相关系数对多变量工艺成品率的影响第81-88页
     ·相关系数方向对成品率的影响第81-83页
     ·相关系数与成品率关系第83-86页
     ·MECpk指数应用实例第86-88页
   ·小结第88-89页
第六章 基于截尾样本的产品成品率分析第89-102页
   ·引言第89页
   ·截尾正态分布的参数估计第89-92页
     ·双侧截尾的情况第90-91页
     ·单侧截尾的情况第91-92页
   ·Fisher 信息矩阵与置信区间第92-101页
     ·双侧截尾正态分布参数估计的置信区间第93-98页
     ·单侧截尾正态分布参数估计的置信区间第98-101页
   ·小结第101-102页
第七章 质量控制与评价系统第102-112页
   ·质量控制与评价系统简介第102-103页
     ·SPC 子系统第102页
     ·工序能力指数(Cpk)子系统第102-103页
   ·软件界面形式第103-112页
     ·SPC 子系统各功能模块界面第103-107页
     ·C_pk子系统各功能模块界面第107-112页
第八章 全文总结第112-114页
   ·本文的主要贡献第112-113页
   ·后续工作展望第113-114页
致谢第114-116页
参考文献第116-123页
攻读博士学位期间的研究成果第123-124页
 学术论文第123页
 国家专利第123页
 参加研究的科研项目第123-124页
附录 A第124-125页

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