激光干涉光刻的极限尺寸研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-6页
目录	第6-7页
第一章 绪论	第7-13页
·光刻技术概述	第7-11页
·激光干涉光刻的发展趋势和现状	第11页
·课题研究的目的和意义	第11-12页
·本文研究的主要内容和结构安排	第12-13页
第二章 激光干涉光刻技术	第13-19页
·激光干涉光刻理论基础	第13-14页
·激光干涉光刻分类	第14-18页
·小结	第18-19页
第三章 直接激光干涉光刻实验系统设计	第19-25页
·直接激光干涉光刻	第19页
·干涉光刻系统需求	第19-22页
·双光束干涉光路搭建	第22-23页
·衬底准备	第23页
·样品检测	第23-24页
·小结	第24-25页
第四章 光刻结构特征尺寸的影响因素的模拟实验研究	第25-32页
·波长对特征尺寸的影响	第25-27页
·能量密度对特征尺寸的影响	第27-28页
·偏振方向对特征尺寸的影响	第28-29页
·入射角对特征尺寸的影响	第29-30页
·脉冲数对特征尺寸的影响	第30-31页
·小结	第31-32页
第五章 基于改变能量密度的极限尺度研究及结果分析	第32-40页
·实验设计思想	第32页
·实验过程及结果分析	第32-38页
·实验误差分析	第38-39页
·小结	第39-40页
第六章 总结及展望	第40-42页
·总结	第40页
·展望	第40-42页
致谢	第42-43页
参考文献	第43-44页