光刻机双工件台系统的FMECA分析
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| ·研究现状及课题来源 | 第11-13页 |
| ·光刻机技术国内外研究现状 | 第11-12页 |
| ·课题来源 | 第12-13页 |
| ·研究的目的和主要内容 | 第13-15页 |
| ·研究目的 | 第13页 |
| ·研究内容 | 第13-14页 |
| ·论文思路和结构 | 第14-15页 |
| 第二章 可靠性分析方法概述 | 第15-32页 |
| ·故障树方法 | 第15-20页 |
| ·故障树概述 | 第15-16页 |
| ·故障树分析法的特点 | 第16-17页 |
| ·故障树的构建步骤 | 第17页 |
| ·故障树法的结构函数 | 第17-18页 |
| ·故障树的定性分析 | 第18-19页 |
| ·故障树的定量分析 | 第19-20页 |
| ·GO 法 | 第20-23页 |
| ·GO 法概述 | 第20页 |
| ·操作符 | 第20-22页 |
| ·信号流 | 第22页 |
| ·GO 图 | 第22页 |
| ·GO 法的分析步骤 | 第22-23页 |
| ·GO 法的定性和定量分析 | 第23页 |
| ·FMECA 方法 | 第23-30页 |
| ·FMECA 的发展概况 | 第24页 |
| ·FMECA 的意义 | 第24-25页 |
| ·FMECA 的目的 | 第25页 |
| ·FMECA 分析的步骤 | 第25-26页 |
| ·危害性分析 | 第26-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 双工件台系统的可靠性建模 | 第32-54页 |
| ·双工件台系统的组成和原理 | 第32-37页 |
| ·双工件台系统定义 | 第32-33页 |
| ·掩模台系统的功能结构组成 | 第33-35页 |
| ·硅片台系统的功能结构组成 | 第35-36页 |
| ·电气控制系统的功能结构组成 | 第36-37页 |
| ·双工件台系统环境介绍 | 第37页 |
| ·双工件台系统工作环境 | 第37页 |
| ·双工件台系统工作状态 | 第37页 |
| ·双工件台系统故障树建模 | 第37-45页 |
| ·构建故障树 | 第38-42页 |
| ·故障树定性分析 | 第42-43页 |
| ·故障树的定量分析 | 第43-45页 |
| ·双工件台控制系统 GO 法建模 | 第45-52页 |
| ·控制系统的可靠性指标 | 第46页 |
| ·掩模台控制系统 GO 法分析 | 第46-49页 |
| ·硅片台控制系统 GO 法分析 | 第49-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第四章 双工件台系统的 FMECA 分析 | 第54-73页 |
| ·故障数据来源 | 第54-56页 |
| ·FMEA 方法分析双工件台系统 | 第56-62页 |
| ·掩模台的 FMEA 分析 | 第56-59页 |
| ·硅片台的 FMEA 分析 | 第59-62页 |
| ·双工件台机械系统危害度分析 | 第62-72页 |
| ·掩模台的危害度分析 | 第62-66页 |
| ·硅片台的危害度分析 | 第66-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 结论与展望 | 第73-75页 |
| ·结论 | 第73页 |
| ·展望 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 附录 | 第79-84页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第84-85页 |
