| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-14页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·光刻技术 | 第7-8页 |
| ·相移控制技术 | 第8页 |
| ·国内外的发展状况 | 第8-12页 |
| ·研究目的和意义 | 第12-14页 |
| 第2章 激光干涉相移检测控制系统 | 第14-21页 |
| ·激光干涉技术简介 | 第14页 |
| ·激光干涉技术原理 | 第14-17页 |
| ·相移检测控制系统的组成 | 第17-19页 |
| ·相移控制的原理 | 第19-21页 |
| 第3章 激光干涉图案相移值的计算 | 第21-26页 |
| ·相移值计算的方法 | 第21-22页 |
| ·利用相关运算求相移值原理 | 第22页 |
| ·二维相移值的计算 | 第22-24页 |
| ·计算机模拟仿真 | 第24-26页 |
| 第4章 实验结果与误差分析 | 第26-45页 |
| ·实验系统组成 | 第26页 |
| ·三光束激光干涉二维相移控制系统 | 第26-35页 |
| ·两光束激光干涉相位锁定控制系统 | 第35-42页 |
| ·误差分析 | 第42-45页 |
| 第5章 结论 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 致谢 | 第48页 |