| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·微通道板简介 | 第7-8页 |
| ·微通道结构的应用 | 第8-11页 |
| ·硅微通道板微加工技术及研究现状 | 第11-14页 |
| ·电化学刻蚀微通道等径控制技术概述 | 第14-15页 |
| ·主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 电化学刻蚀硅微通道等径控制的相关原理 | 第17-24页 |
| ·硅电化学刻蚀原理 | 第17-19页 |
| ·微通道内反应物质输运分析 | 第19-22页 |
| ·表面活性剂影响分析 | 第22-24页 |
| 第三章 电化学刻蚀参数对微通道孔径影响实验研究 | 第24-33页 |
| ·诱导坑制备 | 第24-26页 |
| ·电化学刻蚀实验 | 第26-31页 |
| ·交流阻抗测量 | 第31-33页 |
| 第四章 实验结果及分析 | 第33-50页 |
| ·腐蚀电压对微通道孔径的影响及分析 | 第33-35页 |
| ·HF浓度对微通道孔径的影响及分析 | 第35-37页 |
| ·温度对微通道孔径的影响及分析 | 第37-40页 |
| ·表面活性剂对孔径变化影响分析 | 第40-50页 |
| 结论 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 发表文章 | 第55页 |