| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 引言 | 第11-18页 |
| ·选题的依据、目的和意义 | 第11-15页 |
| ·纳米压印技术的国内外研究现状 | 第15-16页 |
| ·国外研究现状 | 第15-16页 |
| ·国内研究现状 | 第16页 |
| ·本文的主要内容和组织结构 | 第16-18页 |
| 2 纳米压印技术的原理及发展 | 第18-43页 |
| ·纳米压印技术的提出及基本技术原理 | 第18-19页 |
| ·纳米压印技术的分类 | 第19-26页 |
| ·热压印 | 第19-21页 |
| ·紫外纳米压印 | 第21-24页 |
| ·微接触压印 | 第24-26页 |
| ·毛细微模塑压印 | 第26页 |
| ·纳米压印技术的新发展 | 第26-32页 |
| ·逆向纳米压印 | 第27页 |
| ·超声振动辅助纳米压印 | 第27-28页 |
| ·激光辅助直接压印 | 第28-29页 |
| ·金属薄膜直接压印 | 第29-30页 |
| ·金属纳米粒子压印 | 第30-32页 |
| ·纳米压印施压技术 | 第32-41页 |
| ·固体双平板施压技术(SPP) | 第33-34页 |
| ·静电力辅助施压技术 | 第34-35页 |
| ·电磁力辅助施压技术 | 第35-36页 |
| ·滚轴施压技术 | 第36-38页 |
| ·气压辅助施压技术 | 第38-41页 |
| ·气囊气缸辅助施压 | 第38-39页 |
| ·喷嘴充气施压(ACP) | 第39-40页 |
| ·真空负压技术 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 3 基于气体压缩式施压的纳米压印技术(CGCPN) | 第43-59页 |
| ·施压原理、系统结构设计和操作说明 | 第43-45页 |
| ·施压原理 | 第43页 |
| ·系统结构设计和操作说明 | 第43-45页 |
| ·仿真结果及讨论 | 第45-58页 |
| ·仿真模型和参数设置 | 第45-46页 |
| ·仿真结果分析 | 第46-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 4 气体压缩式施压技术消除气泡缺陷的方案 | 第59-75页 |
| ·掩模板凸出环结构隔离施压气体原理 | 第59-62页 |
| ·系统结构及工作原理 | 第59-60页 |
| ·气体环境中气压施压纳米压印工艺流程 | 第60页 |
| ·气体隔离原理分析 | 第60-62页 |
| ·掩模板凸出环设计宽度的解析分析 | 第62-68页 |
| ·临界设计宽度对于各类参数的依赖关系分析 | 第68-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 5 基于静电斥力的脱模新方式 | 第75-83页 |
| ·静电斥力脱模原理、系统设计及工作原理 | 第76-80页 |
| ·静电场力脱模原理 | 第76-77页 |
| ·系统设计及工作原理 | 第77-80页 |
| ·静电脱模力分析 | 第80-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 6 结论及展望 | 第83-85页 |
| ·结论 | 第83-84页 |
| ·展望 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 个人简历、学期中发表的学术论文及研究成果 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90页 |