| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·研究背景及意义 | 第11-13页 |
| ·研究现状 | 第13-20页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第20-23页 |
| 第2章 立式干涉仪标准镜参考面及抛物面标定精度研究 | 第23-55页 |
| ·高精度干涉检测原理 | 第23-31页 |
| ·Fizeau 型相移干涉仪面形检测误差分析 | 第31-36页 |
| ·双球面法标定立式干涉仪参考面的精度分析 | 第36-43页 |
| ·计算全息法检测抛物面精度分析 | 第43-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第3章 离子束加工基本性能研究 | 第55-75页 |
| ·离子束加工原理 | 第55-57页 |
| ·驻留时间算法与加工路径规划 | 第57-60页 |
| ·离子束加工稳定性测试 | 第60-67页 |
| ·离子束面形加工实验 | 第67-73页 |
| ·本章小结 | 第73-75页 |
| 第4章 离子束高精度加工及非球面加工 | 第75-107页 |
| ·引言 | 第75页 |
| ·空间频率划分与 PSD 介绍 | 第75-76页 |
| ·影响低频加工精度的因素分析 | 第76-85页 |
| ·影响中高频加工精度的因素分析 | 第85-92页 |
| ·IBF 与超光滑迭代实验 | 第92-98页 |
| ·离子束加工非球面研究 | 第98-106页 |
| ·本章小结 | 第106-107页 |
| 第5章 结论与展望 | 第107-109页 |
| ·全文总结 | 第107-108页 |
| ·研究展望 | 第108-109页 |
| 参考文献 | 第109-116页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第116-117页 |
| 指导教师及作者简介 | 第117-118页 |
| 致谢 | 第118页 |