高效低损伤多晶硅线锯切割液研制
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第7-9页 |
| ·线锯切割技术 | 第9-10页 |
| ·线锯切割技术简介 | 第9-10页 |
| ·线锯切割液 | 第10页 |
| ·国内外研究现状及发展趋势 | 第10-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-13页 |
| ·发展趋势 | 第13-14页 |
| ·课题来源 | 第14页 |
| ·主要研究内容及拟解决的关键问题 | 第14-15页 |
| 第二章 切割液配方方案设计 | 第15-23页 |
| ·切割液的组成 | 第15页 |
| ·磨料 | 第15页 |
| ·悬浮液 | 第15页 |
| ·切割液性能分析 | 第15-17页 |
| ·总体实验方案设计 | 第17页 |
| ·实验原料及设备 | 第17-21页 |
| ·原料 | 第17-18页 |
| ·实验设备 | 第18-21页 |
| ·切割液性能主要评价指标 | 第21-22页 |
| ·材料去除率 | 第21页 |
| ·表面粗糙度 | 第21页 |
| ·分散性 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 切割液主要成分选择 | 第23-42页 |
| ·磨粒的选择 | 第23-27页 |
| ·磨粒粒度对去除率和粗糙度的影响 | 第23-26页 |
| ·磨粒浓度对切割液粘度的影响 | 第26-27页 |
| ·分散剂的选择 | 第27-31页 |
| ·不同分散剂对去除率和粗糙度的影响 | 第28-29页 |
| ·分散剂浓度对切割液粘度和悬浮率的影响 | 第29-31页 |
| ·pH值调节剂的选择 | 第31-34页 |
| ·不同有机碱对去除率和粗糙度的影响 | 第31-33页 |
| ·有机碱浓度对切割液 pH 值的影响 | 第33-34页 |
| ·表面活性剂的选择 | 第34-38页 |
| ·表面活性剂作用机理 | 第34-36页 |
| ·表面活性剂的比较选择 | 第36-37页 |
| ·活性剂浓度对表面张力和悬浮率的影响 | 第37-38页 |
| ·消泡剂的选择 | 第38-40页 |
| ·实验安排 | 第39页 |
| ·实验结果与分析 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 切割液配方优化 | 第42-50页 |
| ·切割液配方优化实验 | 第42-43页 |
| ·实验目的 | 第42页 |
| ·实验方案 | 第42页 |
| ·实验安排 | 第42-43页 |
| ·实验结果与分析 | 第43-47页 |
| ·针对材料去除率的分析优化 | 第44-45页 |
| ·针对表面粗糙度的分析优化 | 第45-47页 |
| ·优化配方确定 | 第47页 |
| ·验证实验 | 第47-48页 |
| ·优化配方切割液制备工艺 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 切割液性能的分析研究 | 第50-57页 |
| ·切割液pH值随温度变化研究 | 第50-51页 |
| ·切割液粘温特性研究 | 第51页 |
| ·切割液分散悬浮性能研究 | 第51-53页 |
| ·切割液润滑性能研究 | 第53-54页 |
| ·自制与市购切割液磨损实验比较 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第六章 主要结论与展望 | 第57-59页 |
| ·主要结论 | 第57-58页 |
| ·展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 附录一：作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第63-64页 |
| 附录二：方差分析 SAS 程序 | 第64-65页 |
