不确定环境下半导体制造系统瓶颈预测与调度方法研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第13页 |
| ·半导体制造系统概况 | 第13-17页 |
| ·半导体制造工艺流程 | 第13-15页 |
| ·半导体制造系统组成 | 第15-16页 |
| ·半导体制造系统性能指标 | 第16-17页 |
| ·半导体制造系统特点 | 第17页 |
| ·半导体制造系统瓶颈预测与调度方法研究现状 | 第17-21页 |
| ·瓶颈判定方法研究现状 | 第17-18页 |
| ·瓶颈预测方法现状 | 第18-19页 |
| ·半导体制造系统调度方法研究现状 | 第19-20页 |
| ·基于瓶颈的调度方法研究现状 | 第20-21页 |
| ·论文结构安排 | 第21-23页 |
| 第二章 半导体制造系统瓶颈设备判定 | 第23-29页 |
| ·基于生产负荷与外部特征的瓶颈判定 | 第23-25页 |
| ·设备生产负荷 | 第23-24页 |
| ·设备的外部特征 | 第24页 |
| ·设备综合瓶颈指数与瓶颈判定 | 第24-25页 |
| ·基于滚动时域的瓶颈预测判定 | 第25-27页 |
| ·滚动时域方法 | 第25页 |
| ·瓶颈预测判定 | 第25-27页 |
| ·小结 | 第27-29页 |
| 第三章 半导体制造系统瓶颈设备预测 | 第29-47页 |
| ·改进的自适应模糊推理系统 | 第29-37页 |
| ·改进的 ANFIS 的结构辨识 | 第29-31页 |
| ·改进的 ANFIS 结构 | 第31-34页 |
| ·改进的 ANFIS 训练算法 | 第34-37页 |
| ·改进的 ANFIS 在瓶颈预测中的应用 | 第37-40页 |
| ·改进的 ANFIS 在等待时间预测中的应用 | 第37-38页 |
| ·改进的 ANFIS 在瓶颈预测中的应用 | 第38-40页 |
| ·仿真实验结果与分析 | 第40-45页 |
| ·小结 | 第45-47页 |
| 第四章 基于滚动时域与瓶颈预测的动态调度方法 | 第47-57页 |
| ·动态 WIP 投料策略 | 第47-48页 |
| ·基于滚动时域的分层动态调度算法 | 第48-50页 |
| ·交货期优先级 | 第49页 |
| ·层负荷优先级 | 第49-50页 |
| ·加工时间优先级 | 第50页 |
| ·仿真实验结果与分析 | 第50-55页 |
| ·小结 | 第55-57页 |
| 第五章 结论与展望 | 第57-59页 |
| ·全文总结 | 第57页 |
| ·展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第65-67页 |
| 作者和导师简介 | 第67-68页 |
| 附件 | 第68-69页 |
