| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·课题研究背景 | 第10-12页 |
| ·FBAR 在传感器领域的应用 | 第10-11页 |
| ·FBAR 在无线通信领域的应用 | 第11-12页 |
| ·FBAR 工作原理 | 第12-13页 |
| ·FBAR 经典结构 | 第13-15页 |
| ·FBAR 常用材料 | 第15-16页 |
| ·论文章节安排 | 第16-17页 |
| ·论文研究内容 | 第16页 |
| ·各章节内容安排 | 第16-17页 |
| 第二章 FBAR 理论基础 | 第17-36页 |
| ·固体的平面声波 | 第17-19页 |
| ·弹性形变的基本方程 | 第17-18页 |
| ·普通弹性材料中的声波方程 | 第18-19页 |
| ·普通材料中的平面声波 | 第19-23页 |
| ·各向同性介质中的平面声波 | 第19-20页 |
| ·各向异性介质中的平面声波 | 第20-22页 |
| ·色散关系 | 第22-23页 |
| ·压电体中的声波 | 第23-27页 |
| ·压电体中的声场与声波 | 第23-25页 |
| ·AlN 中的声波 | 第25-27页 |
| ·理想 FBAR | 第27-31页 |
| ·理想 FBAR 的电学阻抗 | 第27-29页 |
| ·理想 FBAR 的电学阻抗曲线 | 第29-31页 |
| ·复合结构 FBAR 的电学阻抗特性 | 第31-35页 |
| ·复合结构 FBAR 的声阻抗 | 第31页 |
| ·复合结构 FBAR 的边界条件 | 第31-34页 |
| ·复合结构 FBAR 的性能参数及损耗 | 第34-35页 |
| ·本章总结 | 第35-36页 |
| 第三章 FBAR 器件建模 | 第36-54页 |
| ·FBAR 普适模型的建立 | 第36-41页 |
| ·压电体的 Mason 模型 | 第36-39页 |
| ·普通声学材料的 Mason 模型 | 第39-41页 |
| ·复合结构 FBAR 的 Mason 模型 | 第41页 |
| ·压电体的 BVD 模型 | 第41-47页 |
| ·FBAR 的 MBVD 模型 | 第47-49页 |
| ·FBAR 电学性能的影响因素 | 第49-53页 |
| ·电极材料对 FBAR 性能的影响 | 第49-51页 |
| ·支撑层和残余硅层的影响 | 第51-53页 |
| ·本章总结 | 第53-54页 |
| 第四章 FBAR 有限元仿真 | 第54-61页 |
| ·有限元分析软件——COMSOL Multiphysics | 第54-55页 |
| ·COMSOL Multiphysics 简介 | 第54页 |
| ·COMSOL Multiphysics 分析步骤 | 第54-55页 |
| ·FBAR 的稳态分析 | 第55-58页 |
| ·FBAR 模型定义 | 第55-57页 |
| ·边界条件的设定 | 第57-58页 |
| ·结果与分析 | 第58-60页 |
| ·压电耦合特性分析 | 第58-59页 |
| ·特征频率分析 | 第59-60页 |
| ·本章总结 | 第60-61页 |
| 第五章 FBAR 制备工艺研究 | 第61-67页 |
| ·AlN 薄膜的制备及测试 | 第61-64页 |
| ·AlN（002）的制备工艺 | 第61-62页 |
| ·实验制取 AlN 薄膜 | 第62页 |
| ·AlN 薄膜的测试 | 第62-64页 |
| ·FBAR 谐振器的制备工艺研究 | 第64-66页 |
| ·空气隙型 FBAR 结构及材料 | 第64-65页 |
| ·空气隙型 FBAR 的制作流程 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| ·全文总结 | 第67页 |
| ·展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |