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坩埚试水平台的设计和分析

摘要第1-4页
Abstract第4-10页
1 引言第10-15页
   ·课题研究的背景及意义第10-12页
   ·研究现状第12-15页
     ·国内外多晶硅铸锭炉市场发展现状与前景第12-13页
     ·多晶硅铸锭坩埚技术发展现状第13-14页
     ·坩埚试水过程的研究第14-15页
   ·课题研究的目的和研究的主要内容第15页
2 坩埚试水平台的整体结构的设计第15-26页
   ·坩埚试水平台方案的确定第15-16页
   ·坩埚试水的工作原理第16页
   ·坩埚试水平台具体结构的设计第16-19页
     ·升降机构的设计第16-18页
     ·夹紧机构的设计第18-19页
   ·坩埚试水平台的总体布局的确定第19-21页
   ·坩埚试水平台主要零件的结构第21-23页
   ·坩埚试水平台夹紧扳手的优化设计第23-25页
     ·夹紧扳手的优化设计方案第23页
     ·夹紧扳手的受力分析第23-25页
   ·导向立柱的受力分析第25-26页
3 坩埚试水平台主要零部件的有限元分析第26-31页
   ·有限元与ANSYS的介绍第26页
   ·ANSYS软件的分析过程第26-27页
   ·夹紧扳手的有限元分析第27-30页
     ·位移变形量的分析第27-28页
     ·应力分析第28-30页
   ·导向立柱的有限元分析第30-31页
4 基于 FLUENT 对坩埚进行流体仿真与应力分析第31-42页
   ·流体力学第31-32页
   ·FLUENT软件的介绍第32-33页
   ·单向流固耦合分析的原理的介绍第33-34页
   ·基于FLUENT对坩埚进行的分析第34-42页
     ·流体的模拟仿真第34-41页
     ·坩埚的应力分析第41-42页
5 总结和建议第42-44页
   ·总结第42-43页
   ·建议第43-44页
致谢第44-45页
参考文献第45-47页
附录第47-49页
作者简介第49页

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