| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-10页 |
| 1 引言 | 第10-15页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第10-12页 |
| ·研究现状 | 第12-15页 |
| ·国内外多晶硅铸锭炉市场发展现状与前景 | 第12-13页 |
| ·多晶硅铸锭坩埚技术发展现状 | 第13-14页 |
| ·坩埚试水过程的研究 | 第14-15页 |
| ·课题研究的目的和研究的主要内容 | 第15页 |
| 2 坩埚试水平台的整体结构的设计 | 第15-26页 |
| ·坩埚试水平台方案的确定 | 第15-16页 |
| ·坩埚试水的工作原理 | 第16页 |
| ·坩埚试水平台具体结构的设计 | 第16-19页 |
| ·升降机构的设计 | 第16-18页 |
| ·夹紧机构的设计 | 第18-19页 |
| ·坩埚试水平台的总体布局的确定 | 第19-21页 |
| ·坩埚试水平台主要零件的结构 | 第21-23页 |
| ·坩埚试水平台夹紧扳手的优化设计 | 第23-25页 |
| ·夹紧扳手的优化设计方案 | 第23页 |
| ·夹紧扳手的受力分析 | 第23-25页 |
| ·导向立柱的受力分析 | 第25-26页 |
| 3 坩埚试水平台主要零部件的有限元分析 | 第26-31页 |
| ·有限元与ANSYS的介绍 | 第26页 |
| ·ANSYS软件的分析过程 | 第26-27页 |
| ·夹紧扳手的有限元分析 | 第27-30页 |
| ·位移变形量的分析 | 第27-28页 |
| ·应力分析 | 第28-30页 |
| ·导向立柱的有限元分析 | 第30-31页 |
| 4 基于 FLUENT 对坩埚进行流体仿真与应力分析 | 第31-42页 |
| ·流体力学 | 第31-32页 |
| ·FLUENT软件的介绍 | 第32-33页 |
| ·单向流固耦合分析的原理的介绍 | 第33-34页 |
| ·基于FLUENT对坩埚进行的分析 | 第34-42页 |
| ·流体的模拟仿真 | 第34-41页 |
| ·坩埚的应力分析 | 第41-42页 |
| 5 总结和建议 | 第42-44页 |
| ·总结 | 第42-43页 |
| ·建议 | 第43-44页 |
| 致谢 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-47页 |
| 附录 | 第47-49页 |
| 作者简介 | 第49页 |