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一般性问题
金刚石纳米抛光碳化硅的分子动力学数值模拟研究
基于BJT与SCR的片上ESD防护研究
晶圆级MoS2及其阵列器件的可控制备研究
增强型GaN功率器件的动态电阻测试及分析
化学浴沉积法制备硫化铜薄膜的研究
高密度等离子体填充浅沟道隔离产生空洞缺陷现象的解决方法研究
40纳米工艺PMOS漏电流检测分析与良率提升
InN包覆GaN纳米线复合结构制备及密度泛函理论研究
连续无掩膜光刻与一种新型的热回流技术用于微透镜阵列成型
半导体中缺陷对载流子寿命的非绝热分子动力学研究
掺杂调制Ga2O3的电子结构与物性研究
N型高效晶体硅太阳电池关键技术研究
纳米ZnO场发射特性与复合材料光学性能的研究
纳米锡酸锌制备及其在银基电接触材料中的应用研究
大功率器件高可靠散热安装工艺技术研究
氮化镓应力相关缺陷的形成和演化研究
QFP半导体产品尺寸抽检机的研发
涡旋光束直写光刻研究
光刻机内部气体温度控制模型及算法研究
Cu2O/reduced graphene oxide纳米复合材料的制备及其光电响应研究
高精度AZ厚胶光刻及其在射频同轴传输线制作中应用
ZnS-MgS半导体合金和W-B超硬化合物的结构预测及物性研究
单晶硅片超精密磨削表面质量的数值仿真分析
三硫化钛及其它二维材料输运性质的理论研究
光刻机超精密工件台数据驱动运动控制研究
CF4/Ar感性耦合等离子体增强准原子层刻蚀SiO2多尺度研究
InAs纳米线阵列制备及其光敏特性研究
SiC氧化层中可动电荷的TVS法测量及优化
3C-SiC掺杂体系第一性原理研究
P掺杂GaN纳米线制备及第一性原理研究
去除电火花切割工件表面凹坑和再凝固物质方法研究
硅基中红外亚波长平面光学透镜研究
MOCVD反应室多场耦合分析与参数优化
Si基改性Ge薄膜RPCVD外延生长研究
直接带隙Ge1-xSnx能带结构研究
碳化硅基石墨烯/锗异质结制备与特性研究
Ge/SiC界面态分析
钙钛矿半导体的结构和电学性质研究
AlN材料中缺陷调控及物性研究
AlGaN材料类同质外延生长及日盲紫外探测器研究
叠茂/MoS2异质结的输运性质研究
GaAs(Sb,Bi)半导体及其纳米线体系的红外光学和极化特性研究
基于SECS/GEM标准的半导体封测设备RMS系统设计与实现
P型4H-SiC少子寿命提升机理研究
分子束外延生长InAs/AlSb二维电子气结构
基于光子晶体微腔的超低质量腔光机械系统研究
氮化镓薄膜制备过程多物理场研究及优化
MOVPE生长AlN的气相反应机理研究
少层InSe和In2Se3的生长及转移印刷法制备器件电极
氧化物半导体表面增强拉曼基底的制备及特性研究
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