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四探针智能测试仪的研发
射频反应溅射法制备SnO2薄膜及其工艺研究
InAs/InxGa1-xSb应变超晶格界面结构和光学性能
锑化物半导体超晶格外延生长与表面结构研究
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汞探针CV测试仪测量硅重掺衬底外延层电阻率的准确性和稳定性
Si（110）衬底上镍硅化物形成研究
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廉价衬底上PECVD法制备非晶硅薄膜的工艺研究
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铁电/半导体异质结二维电子气的特性研究
MOCVD制备Cu掺杂ZnO薄膜及其同质结器件的性质研究
基于ECR-PEMOCVD技术在蓝宝石衬底上高C轴择优的InN薄膜的制备及表征
磁控溅射制备ZnO薄膜的研究
等离子体增强化学气相沉积法制备优化TiO2薄膜及其光学性能研究
AlxGa1-xN的MOCVD外延生长及日盲p-i-n型焦平面阵列探测器的研制
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γ-Fe2O3/Ni2O3复合磁性纳米微粒及磁性液体的制备及其性质研究
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低相变温度VO2薄膜的制备
硅衬底上AlGaN/GaN异质结材料的生长研究
层状多孔ZnO自持膜的制备及其气敏性能研究
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