| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| 2 GaAs的性质及液相外延生长原理 | 第13-24页 |
| ·GaAs的基本性质 | 第13-14页 |
| ·液相外延系统 | 第14-18页 |
| ·液相外延生长原理 | 第18-22页 |
| ·生长源的配置 | 第22-24页 |
| 3 液相外延制备GaAs微探尖的主要工艺流程 | 第24-29页 |
| ·电子束蒸发法制备SiO_2掩膜 | 第24-25页 |
| ·液相外延生长窗口的制备 | 第25-26页 |
| ·液相外延系统生长GaAs微探尖 | 第26-29页 |
| 4 两种方法使生长液与衬底分离 | 第29-32页 |
| ·利用平推法使生长液与衬底分离 | 第29-31页 |
| ·旋转石墨舟法使生长液与衬底分离 | 第31-32页 |
| 5 实验结果讨论 | 第32-38页 |
| ·温度条件对GaAs微探尖质量的影响 | 第32-34页 |
| ·生长液与衬底分离的方法不同对微探尖的影响 | 第34-38页 |
| 结论 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-42页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第42-43页 |
| 致谢 | 第43-45页 |