半导体材料的飞秒激光微纳加工

提要	第1-6页
第一章 前言	第6-17页
·飞秒激光对材料的微细加工技术	第6页
·半导体材料的精细图案化	第6-16页
·金属氧化物半导体材料	第7-10页
·石墨烯材料	第10-16页
·本论文研究思路及内容	第16-17页
第二章 SNO_2：SB 材料的微细图形加工	第17-28页
·感光SNO_2：SB 溶胶的制备	第17-20页
·化学修饰法制备感光溶胶体系实验原理	第17页
·实验试剂和仪器	第17-18页
·溶胶的配制	第18-19页
·溶胶的感光性	第19-20页
·飞秒激光加工制作SNO_2：SB 凝胶微细图形	第20-24页
·飞秒激光微纳加工系统	第20-21页
·SnO_2：Sb 凝胶微细图形的加工与热处理	第21-24页
·SNO_2：SB 微细图形材料性质测试	第24-28页
·X 射线衍射分析	第24-25页
·微器件湿敏测试	第25-28页
第三章 石墨烯氧化物的还原及图案化	第28-40页
·石墨烯氧化物的制备	第28页
·导电微细图形的还原及图案化	第28-32页
·微图形光学显微镜照片	第29-30页
·微图形扫描电子显微镜(SEM)照片	第30页
·微图形原子力显微镜(AFM)照片	第30-32页
·加工前后材料结构组成表征	第32-35页
·X 射线衍射分析(XRD)	第33-34页
·X 射线光电子能谱分析(XPS)	第34-35页
·拉曼光谱分析(Raman spectra)	第35页
·石墨烯微图形电学性质测试	第35-40页
·电极制作与微电路直写	第36页
·微电路电导率的测试	第36-40页
第四章 结论	第40-42页
参考文献	第42-45页
硕士研究生期间发表的学术论文	第45-46页
致谢	第46-47页
摘要	第47-49页
ABSTRACT	第49-51页