| 摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-6页 |
| 引言 | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第7-9页 |
| ·LED的发展历程 | 第7页 |
| ·LED的应用及其广阔前景 | 第7-9页 |
| 2 外延设备 | 第9-21页 |
| ·MOCVD设备 | 第9-19页 |
| ·外延设备的发展趋势 | 第19-21页 |
| 3 LED基本理论 | 第21-25页 |
| ·LED基本工作原理 | 第21-22页 |
| ·复合 | 第22-24页 |
| ·多量子阱结构 | 第24-25页 |
| 4 GaN多量子阱材料MOCVD外延生长 | 第25-40页 |
| ·MOCVD外延生长工艺 | 第25-34页 |
| ·LED参数 | 第34-35页 |
| ·相关测试技术 | 第35-38页 |
| ·外延技术的发展趋势 | 第38-40页 |
| 5 总结 | 第40-41页 |
| 参考文献 | 第41-44页 |
| 致谢 | 第44-45页 |