摘要 | 第1-4页 |
英文摘要 | 第4-6页 |
引言 | 第6-7页 |
1 绪论 | 第7-9页 |
·LED的发展历程 | 第7页 |
·LED的应用及其广阔前景 | 第7-9页 |
2 外延设备 | 第9-21页 |
·MOCVD设备 | 第9-19页 |
·外延设备的发展趋势 | 第19-21页 |
3 LED基本理论 | 第21-25页 |
·LED基本工作原理 | 第21-22页 |
·复合 | 第22-24页 |
·多量子阱结构 | 第24-25页 |
4 GaN多量子阱材料MOCVD外延生长 | 第25-40页 |
·MOCVD外延生长工艺 | 第25-34页 |
·LED参数 | 第34-35页 |
·相关测试技术 | 第35-38页 |
·外延技术的发展趋势 | 第38-40页 |
5 总结 | 第40-41页 |
参考文献 | 第41-44页 |
致谢 | 第44-45页 |