精密晶圆检测系统中相移干涉术的算法与实验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题意义及背景 | 第8-9页 |
| ·表面微观形貌测量技术概述 | 第9-14页 |
| ·机械探针式测量方法 | 第10页 |
| ·光学探针式测量方法 | 第10-11页 |
| ·扫描探针显微镜 | 第11-12页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第12页 |
| ·位相干涉测量PMI | 第12-14页 |
| ·表面微观形貌测量技术研究现状及发展趋势 | 第14页 |
| ·本文主要研究工作 | 第14-16页 |
| 第2章 相移干涉术的理论研究 | 第16-24页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·相移干涉术 | 第16-21页 |
| ·步进相移干涉术原理 | 第17-19页 |
| ·线性连续相移干涉术原理 | 第19-21页 |
| ·常见的移相方法 | 第21-23页 |
| ·时间移相法 | 第21-22页 |
| ·空间移相法 | 第22-23页 |
| ·相移干涉术的应用 | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 相移干涉术的算法研究 | 第24-38页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·相位提取算法的研究 | 第24-31页 |
| ·经典相位提取算法 | 第25-26页 |
| ·快速相位提取算法 | 第26-28页 |
| ·本文中的快速相位提取算法 | 第28-31页 |
| ·相位去包裹算法的研究 | 第31-37页 |
| ·传统相位去包裹算法 | 第31-32页 |
| ·改进相位去包裹算法 | 第32-36页 |
| ·本文中的相位去包裹算法 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 干涉图像预处理技术研究 | 第38-49页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·亮度变换与空间滤波 | 第38-44页 |
| ·直方图处理 | 第38-41页 |
| ·空间滤波 | 第41-44页 |
| ·频域处理 | 第44-47页 |
| ·低通频域滤波器 | 第44-46页 |
| ·锐化频域滤波器 | 第46-47页 |
| ·膨胀和腐蚀 | 第47-48页 |
| ·膨胀 | 第47-48页 |
| ·腐蚀 | 第48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 实验系统 | 第49-56页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·系统成像光路 | 第49-51页 |
| ·测量数据处理 | 第51-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
