基于触媒原理的CVD金刚石薄膜抛光
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外的研究现状及发展趋势 | 第10-14页 |
| ·机械抛光法 | 第10-11页 |
| ·化学辅助机械抛光法 | 第11-12页 |
| ·热化学抛光法 | 第12-13页 |
| ·离子束抛光法 | 第13页 |
| ·激光抛光法 | 第13页 |
| ·等离子体刻蚀抛光法 | 第13-14页 |
| ·本文研究的主要内容及方法 | 第14页 |
| ·本章小结 | 第14-16页 |
| 第2章 触媒抛光法的原理分析 | 第16-27页 |
| ·触媒原理 | 第16页 |
| ·石墨化原理分析 | 第16-19页 |
| ·触媒作用下CVD 金刚石的化学热力学研究 | 第19-23页 |
| ·石墨化反应过程的焓变及理论能耗 | 第19-21页 |
| ·石墨化反应过程的条件及方向 | 第21-23页 |
| ·触媒作用下CVD 金刚石的化学动力学研究 | 第23-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 触媒抛光的仿真分析 | 第27-48页 |
| ·触媒作用的有限元仿真分析 | 第27-35页 |
| ·有限元仿真的参数定义 | 第27-29页 |
| ·有限元仿真的试验方案 | 第29-30页 |
| ·有限元仿真的试验及分析 | 第30-35页 |
| ·研究结果 | 第35页 |
| ·触媒抛光的运动学分析 | 第35-47页 |
| ·运动轨迹模型建立 | 第35-37页 |
| ·运动学仿真的参数定义 | 第37-38页 |
| ·运动学仿真的试验及结果分析 | 第38-47页 |
| ·研究结果 | 第47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 触媒抛光法的试验研究 | 第48-63页 |
| ·触媒抛光的主要设备及工具 | 第48-52页 |
| ·抛光台 | 第48-49页 |
| ·研磨盘 | 第49-50页 |
| ·金刚石砂轮 | 第50页 |
| ·行星轮 | 第50-51页 |
| ·超景深三维显微系统 | 第51页 |
| ·光学轮廓仪 | 第51-52页 |
| ·拉曼光谱仪 | 第52页 |
| ·试验方案设计 | 第52-55页 |
| ·正交试验设计 | 第52-53页 |
| ·触媒抛光的正交试验设计 | 第53-55页 |
| ·试验及结果分析 | 第55-56页 |
| ·加工效率对比研究 | 第56-62页 |
| ·表面形貌分析 | 第57-61页 |
| ·拉曼光谱分析 | 第61-62页 |
| ·研究结果 | 第62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 结论与展望 | 第63-66页 |
| ·结论 | 第63-64页 |
| ·展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第71页 |
