微晶硅薄膜的制备及其特性研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-24页 |
| ·太阳电池的发展历程 | 第8-14页 |
| ·晶体Si太阳电池 | 第9-10页 |
| ·薄膜太阳电池 | 第10-13页 |
| ·叠层太阳电池 | 第13-14页 |
| ·染料敏化太阳电池 | 第14页 |
| ·聚合物太阳电池 | 第14页 |
| ·太阳电池的未来展望 | 第14-18页 |
| ·多结叠层太阳电池 | 第15-16页 |
| ·纳米结构太阳电池 | 第16-18页 |
| ·微晶硅太阳电池研究现状 | 第18-22页 |
| ·微晶硅薄膜太阳电池中的载流子输运 | 第19-21页 |
| ·微晶硅薄膜的沉积 | 第21页 |
| ·微晶硅太阳电池的陷光效应 | 第21-22页 |
| ·本论文的研究内容 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第二章 微晶硅薄膜的制备 | 第24-30页 |
| ·微晶硅薄膜的制备方法 | 第24-28页 |
| ·微晶硅薄膜的PECVD制备 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 PECVD制备微晶硅薄膜的结构和物性 | 第30-40页 |
| ·不同工艺参数下制备的微晶硅的薄膜微结构 | 第30-36页 |
| ·Raman测量 | 第30-32页 |
| ·XRD测量 | 第32-34页 |
| ·FTIR测量 | 第34-36页 |
| ·微晶硅薄膜的光学和电学特性 | 第36-38页 |
| ·微晶硅薄膜的吸收特性 | 第36-37页 |
| ·薄膜样晶的电学输运特性 | 第37-38页 |
| ·源气体成分在微晶硅薄膜制备过程中的作用 | 第38-39页 |
| ·源气体中氢气的作用 | 第38-39页 |
| ·源气体中氩气的作用 | 第39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 纳米结构太阳电池材料研究 | 第40-48页 |
| ·纳米结构硅薄膜太阳电池研究现状 | 第40-43页 |
| ·纳米结构硅薄膜太阳电池的光伏性能 | 第40-41页 |
| ·高效率纳米结构硅薄膜太阳电池的设计与制备 | 第41-43页 |
| ·静电纺丝技术在纳米结构硅薄膜材料制备上的应用 | 第43-47页 |
| ·静电纺丝制备微纳规则网络模板 | 第43-45页 |
| ·静电纺丝网络模板的应用探索 | 第45页 |
| ·实验中遇到的问题 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 总结 | 第48-50页 |
| ·结论 | 第48页 |
| ·工作展望 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 在学期间发表的研究论文 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
