低相变温度VO2薄膜的制备
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·钒的氧化物形式 | 第11页 |
| ·VO_2 薄膜的光学和电学特性 | 第11-13页 |
| ·VO_2(B)结构及性质的初步探索 | 第13-15页 |
| ·VO_2 薄膜的制备方法 | 第15-18页 |
| ·VO_2 薄膜的应用 | 第18-19页 |
| ·本课题研究内容及意义 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 2 VO_2 相变理论及膜系设计 | 第21-28页 |
| ·VO_2 晶体结构 | 第21-22页 |
| ·相变机理的初步分析 | 第22-23页 |
| ·膜系设计 | 第23-26页 |
| ·多层膜系的设计及其优化 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 VO_2 薄膜的制备工艺研究 | 第28-44页 |
| ·相变VO_2 薄膜的制备工艺 | 第28-38页 |
| ·VO_2(B)薄膜的制备工艺 | 第38-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 4 VO_2 薄膜性能测试 | 第44-60页 |
| ·VO_2 薄膜温度电阻特性 | 第44-47页 |
| ·VO_2(B)薄膜TCR 的测试 | 第47-48页 |
| ·玻璃基底上VO_2 薄膜近红外透过率的测试 | 第48-50页 |
| ·VO_2 薄膜XRD 分析测试 | 第50-52页 |
| ·VO_2 薄膜SEM 分析测试 | 第52-54页 |
| ·VO_2 薄膜AFM 分析测试 | 第54-56页 |
| ·VO_2 薄膜光学常数测试 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 5 二氧化钒薄膜的应用 | 第60-68页 |
| ·VO_2 薄膜在太阳能智能窗的应用 | 第60-62页 |
| ·VO_2(B)薄膜在微测辐射热计的应用 | 第62-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 6 总结与展望 | 第68-70页 |
| ·全文总结 | 第68-69页 |
| ·后续工作展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 附录 | 第75页 |
