| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-16页 |
| ·课题研究背景 | 第11页 |
| ·薄层电阻率测试方法综述 | 第11-12页 |
| ·微区电阻率测量方法的原理与特点 | 第11-12页 |
| ·微区电阻测量结果的表示方法 | 第12页 |
| ·四探针技术的主要应用 | 第12-13页 |
| ·四探针测试仪的研究现状与发展前景 | 第13-14页 |
| ·视频采集技术在四探针测试系统中的应用 | 第14-15页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 四探针测试技术的原理分析 | 第16-26页 |
| ·四探针测试法简述 | 第16页 |
| ·直线四探针测试法 | 第16-18页 |
| ·直线四探针测试法的原理 | 第16-17页 |
| ·直线四探针测试法的修正问题 | 第17-18页 |
| ·改进的范德堡测试法 | 第18-20页 |
| ·改进的范德堡法的测量原理 | 第19页 |
| ·改进的范德堡法的边缘修正 | 第19-20页 |
| ·方形四探针测试法 | 第20-23页 |
| ·斜置式方形Rymaszewski 四探针法的测试原理 | 第20-22页 |
| ·斜置式方形Rymaszewski 四探针法的厚度修正 | 第22-23页 |
| ·本课题最终所采用的测试方法 | 第23页 |
| ·使用四探针法要点 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 系统硬件部分的设计与实现 | 第26-34页 |
| ·机械架构 | 第26-27页 |
| ·机械改进部分的设计与实现 | 第27-29页 |
| ·视频采集系统 | 第29-33页 |
| ·视频图像概述 | 第29-30页 |
| ·数字图像的获取方式 | 第30页 |
| ·视频图像采集卡的介绍 | 第30-31页 |
| ·实际采用的视频采集方案 | 第31-33页 |
| ·改进后的实物效果 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 系统下位机功能模块设计 | 第34-49页 |
| ·步进电机驱动模块 | 第34-37页 |
| ·步进电机工作原理 | 第34-35页 |
| ·步进电机驱动电路 | 第35-37页 |
| ·恒流源设计 | 第37-40页 |
| ·恒流源电路 | 第38-39页 |
| ·电流显示 | 第39-40页 |
| ·四路选通开关电路 | 第40-42页 |
| ·测量电压放大电路 | 第42-43页 |
| ·A/D 转换模块 | 第43-45页 |
| ·下位机与上位机通信模块 | 第45-48页 |
| ·串口硬件电路 | 第45-46页 |
| ·串口软件设计 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 系统上位机软件设计 | 第49-61页 |
| ·开发初始化模块 | 第50-51页 |
| ·SDK-2000 二次开发包 | 第50页 |
| ·系统初始类 | 第50-51页 |
| ·视频采集配置与视频信息处理模块 | 第51-53页 |
| ·视频采集卡属性配置 | 第51-52页 |
| ·视频信息处理 | 第52-53页 |
| ·串行通信模块 | 第53-54页 |
| ·放大倍数设置模块 | 第54-55页 |
| ·测试台移动控制模块 | 第55-56页 |
| ·测量及数据处理模块 | 第56-60页 |
| ·定点测量模式 | 第56-57页 |
| ·单步测量模式 | 第57-58页 |
| ·直线测量模式 | 第58-59页 |
| ·区域测量模式 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第6章 测试系统的使用和测量结果分析 | 第61-66页 |
| ·测试系统的使用 | 第61-62页 |
| ·测量步骤 | 第61-62页 |
| ·注意事项 | 第62页 |
| ·测量结果分析 | 第62-65页 |
| ·定点测量 | 第63页 |
| ·直线测量 | 第63-64页 |
| ·区域测量 | 第64-65页 |
| ·结果分析 | 第65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第7章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 附录 1 作者在读期间发表的学术论文及参加的科研项目 | 第72-73页 |
| 附录2 步进电机连接件机械图 | 第73-74页 |
| 附录3 单片机程序编译界面 | 第74-75页 |
| 附录4 主界面具体菜单表 | 第75-76页 |
| 详细摘要 | 第76-81页 |
