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硅基稀磁半导体薄膜的制备及其结构和输运性质的研究

摘要第1-6页
Abstract第6-8页
第一章 绪论第8-18页
 §1.1 引言第8-9页
 §1.2 稀磁半导体的研究历程和现状第9-14页
 §1.3本论文内容简介第14-15页
 参考文献第15-18页
第二章 薄膜生长技术与表征手段第18-41页
 §2.1 分子束外延技术第18-20页
 §2.2 实验设备第20-28页
  §2.2.1 分子束外延设备第20-23页
  §2.2.2 原位测量之反射式高能电子衍射(RHEED)第23-25页
  §2.2.3 原位测量之俄歇电子能谱(AES)第25-28页
 §2.3 薄膜的生长第28-30页
  §2.3.1 硅片清洗第28-29页
  §2.3.2 薄膜生长第29-30页
 §2.4 样品的表征手段第30-37页
  §2.4.1 原子力显微镜(Atomic force microscopy,AFM)第30-33页
  §2.4.2 X射线衍射(XRD)第33-34页
  §2.4.3 拉曼光谱(Raman Spectroscopy)第34-35页
  §2.4.4 二次离子质谱(Secondary ion mass spectroscopy,SIMS)第35-36页
  §2.4.5 透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,TEM)第36-37页
 §2.5 样品电学性质的测量手段第37-40页
 参考文献第40-41页
第三章 Fe_xSi_(1-x)薄膜的生长、结构与薄膜电阻率的测试第41-56页
 §3.1 引言第41-42页
 §3.2 在Si(100)衬底上生长外延Fe_xSi_(1-x)薄膜材料第42-43页
 §3.3 薄膜的表面形貌第43-46页
 §3.4 薄膜的结构第46-52页
 §3.5 Fe_xSi_(1-x)薄膜的电阻随温度的变化第52-54页
 §3.6 本章小结第54-55页
 参考文献第55-56页
第四章 Fe_xSi_(1-x)薄膜的磁阻第56-71页
 §4.1 引言第56-57页
 §4.2 Fe_(0.04)Si_(0.96)薄膜的磁阻在不同温度下随磁场的变化第57-63页
 §4.3 改变磁场与电流的方向之间的关系测量Fe_(0.04)Si_(0.96)薄膜的磁阻第63-68页
 §4.4 本章小结第68-69页
 参考文献第69-71页
第五章 Fe_xSi(1-x)薄膜的Hall效应第71-84页
 §5.1 引言第71-72页
 §5.2 Fe_xSi_(1-x)薄膜的Hall效应的测量第72-75页
 §5.3 用双载流子模型拟合ρ_(xx)、ρ_(xy)与磁场的变化关系第75-82页
 §5.4 本章小结第82-83页
 参考文献第83-84页
第六章 Mn_xSi_(1-x)薄膜的制备与表征第84-97页
 §6.1 引言第84页
 §6.2 Mn_xSi_(1-x)薄膜的生长第84-85页
 §6.3 Mn_xSi_(1-x)薄膜的表面形貌第85-88页
 §6.4 Mn_xSi_(1-x)薄膜的结构第88-91页
 §6.5 Mn_xSi_(1-x)薄膜的Hall效应第91-93页
 §6.6 Mn_xSi_(1-x)薄膜的磁性测量第93-95页
 §6.7 本章小结第95-96页
 参考文献第96-97页
攻读博士学位期间发表的学术论文第97-98页
攻读博士学位期间参加的会议第98-99页
致谢第99-100页

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