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锑化物半导体超晶格外延生长与表面结构研究

摘要第1-5页
Abstract第5-13页
第1章 绪论第13-30页
   ·锑化物半导体材料与超晶格第13-16页
   ·锑化物外延生长中的表面结构第16-21页
     ·外延生长中的表面结构第16-17页
     ·锑化物半导体的表面再构第17-21页
   ·GaSb 薄膜的异质外延生长与失配位错第21-24页
     ·GaAs 衬底上的GaSb 异质外延第21-22页
     ·GaSb 异质外延薄膜中的60°位错第22-24页
   ·锑化物半导体超晶格研究概述第24-29页
     ·GaAs/GaAsSb 超晶格中的V 族元素置换第24-25页
     ·InAs/GaSb 超晶格材料及其能带结构第25-27页
     ·基于InAs/GaSb 超晶格的红外探测器第27-29页
   ·论文的主要研究内容第29-30页
第2章 实验与计算方法第30-40页
   ·外延生长与分析技术第30-34页
     ·分子束外延技术第30-32页
     ·高分辨X 射线衍射技术第32-33页
     ·透射电子显微镜技术第33页
     ·原子力显微镜技术第33-34页
   ·表面再构的第一性原理计算第34-40页
     ·第一性原理及其应用基础第34-35页
     ·稳定表面及其建模第35-37页
     ·吸附与扩散张量计算第37-40页
第3章 GaSb 的表面再构与外延生长研究第40-61页
   ·GaSb 薄膜的外延生长第40-43页
   ·Ga 原子表面扩散各向异性研究第43-52页
     ·GaSb(001)-(4×3)表面再构第43-45页
     ·Ga 原子在GaSb-(4×3)表面上的吸附第45-48页
     ·Ga 原子在GaSb-(4×3)表面的扩散第48-52页
   ·GaSb 薄膜中位错分布的各向异性分析第52-56页
   ·锑化物再构表面对位错形核的影响第56-59页
     ·AlSb(001)-c(4×4)表面再构第56-57页
     ·GaSb(001)与AlSb(001)再构表面错动分析第57-59页
   ·本章小结第59-61页
第4章 GaAs/GaAsSb 超晶格中的Sb/As 置换反应研究第61-75页
   ·GaAs/GaAsSb 超晶格中的Sb 含量分析第61-65页
   ·GaAs/GaAsSb 超晶格的界面结构与光学特性第65-67页
   ·GaSb 表面Sb 吸附的热力学分析第67-70页
   ·GaSb 覆盖GaAs 再构表面的Sb/As 置换反应第70-74页
     ·GaSb 覆盖的GaAs 表面再构第70-71页
     ·GaSb/GaAs 再构表面的Sb/As 置换第71-74页
   ·本章小结第74-75页
第5章 InAs/GaSb 超晶格的能带结构研究第75-96页
   ·紧束缚方法计算化合物半导体能带第75-80页
     ·经验紧束缚方法第75-77页
     ·GaSb 的能带结构第77-80页
   ·AlSb 的经验紧束缚参数拟合第80-85页
     ·Г点能带与有效质量的解析表达式第80-83页
     ·AlSb 紧束缚参数的拟合第83-85页
   ·InAs/GaSb 超晶格的能带结构第85-95页
     ·紧束缚方法计算超晶格的能带结构第85-88页
     ·InAs/GaSb 超晶格能带结构的影响因素第88-91页
     ·具有Al(Ga)Sb 势垒层的M 型超晶格第91-95页
   ·本章小结第95-96页
第6章 InAs/GaSb 超晶格的外延生长与探测器件应用第96-106页
   ·InAs/GaSb 超晶格的生长与应变分析第96-99页
   ·InAs/GaSb 超晶格的界面结构分析第99-102页
   ·势垒型红外探测器器件的设计与制备第102-105页
   ·本章小结第105-106页
结论第106-108页
参考文献第108-121页
攻读博士学位期间所发表的学术论文第121-123页
致谢第123-124页
个人简历第124页

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