| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-25页 |
| ·前言 | 第9-10页 |
| ·半导体型气敏传感器介绍 | 第10-16页 |
| ·ZnO 气敏材料的研究进展 | 第16-24页 |
| ·本课题研究的意义和内容 | 第24-25页 |
| 2 层状多孔ZnO 厚膜的制备 | 第25-41页 |
| ·前言 | 第25-26页 |
| ·片状碱式硫酸锌(ZHS)的水热合成及分析 | 第26-29页 |
| ·片状ZHS 的自组装及热处理 | 第29-34页 |
| ·层状多孔ZnO 厚膜的形貌分析 | 第34-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 3 层状ZnO 厚膜气体传感器性能研究 | 第41-56页 |
| ·前言 | 第41页 |
| ·层状ZnO 厚膜的器件制作 | 第41-42页 |
| ·气敏性能测试平台及测试方法 | 第42-46页 |
| ·层状ZnO 厚膜的气敏特性 | 第46-49页 |
| ·不同烧结方式下的气敏性能比较 | 第49-52页 |
| ·气敏元件的稳定性研究 | 第52-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 4 全文总结 | 第56-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第66页 |