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石墨烯化学气相淀积生长、表征及机理研究
激光干涉光刻法制备SiO2光子晶体薄膜
Si基图形化衬底Ge外延生长及Si基Ge波导型探测器研究
基于大数据的硅片形状诊断与预报
基于导电性变化的单晶硅表面机械损伤检测方法研究
树脂金刚石切割线对硅晶体切割机理的研究
树脂金刚线树脂层的优化及制造工艺的研究
立方氮化硼晶体掺杂工艺及特性研究
掺杂ZnO粉体的制备和红外发射率的研究
碳化硅外延石墨烯方法生长设备研制与工艺探索
有机聚合物异质结中电荷转移态的理论研究
掺杂稀土元素的纳米晶硅薄膜的发光特性研究
固结磨粒双绞合线锯丝制造装置设计
Ag/Si低维结构的扫描隧道显微镜研究
分子束外延Fe/Si异质结构的热稳定性
InN以及高In组分InAIN材料的制备及相关器件的研究
碲镉汞和铜锌锡硫材料带边电子结构的光学表征
半导体晶体材料机械刻划加工表面创成机理研究
旋转式无掩膜光刻系统研究及其应用
异型热管CVD反应器硅烷分解过程流场模拟研究
结合动态蒙特卡洛法与分子动力学研究c面蓝宝石衬底的氮化现象
磁控溅射制备AlInN及其性质研究
YSZ衬底上铝铟氧化物薄膜的制备及性质研究
4H-SiC厚外延的生长研究
非极性GaN外延薄膜的低位错生长方法研究
镁锌氧薄膜及其器件的制备与性质研究
4H-SiC外延生长的缺陷控制方法研究
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金属氮化物与锗接触特性研究
N掺杂对6H-SiC氧化速率特性的影响
氧化物磁性半导体的电场调控磁性研究
CdTe薄膜在SrTiO3（111）衬底上的分子束外延及其光谱与光电性质研究
二维硫族化合物半导体的可控制备及其光电子特性研究
SiC功率器件建模技术研究
方形孔径平面微透镜阵列的光学特性研究及电场辅助制备技术初探
硅的化学刻蚀及其在光伏中的应用
非晶硅薄膜及其与晶体硅的界面优化研究
GaAs pHEMT可靠性测试研究
金属有机物化学气相沉积设备加热系统研究与设计
浸没式光刻机浸液温度控制算法研究
盐雾环境中烧结纳米银互连材料的电化学迁移失效机理及抑制研究
几种铋系半导体微纳米结构的合成及光催化性能研究
宽禁带III族氮化物极化特性的研究
用多晶硅的金刚线切割废料制备高纯硅的研究
单晶硅高速磨削亚表层损伤的仿真与实验研究
基于WO3的复合半导体制备及可见光催化性能研究
掺杂构型设计对InPBi电子结构的影响研究
有机半导体中激子和极化子输运的调控机理研究
大尺寸SiC单晶生长炉温场分布的研究
类金字塔状GaN基微米锥的生长调控与光学性能研究
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