用多晶硅的金刚线切割废料制备高纯硅的研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 研究背景 | 第13-15页 |
| 1.1.1 全球能源危机及其对策 | 第13页 |
| 1.1.2 全球光伏市场动态 | 第13-14页 |
| 1.1.3 光伏能源发展的瓶颈 | 第14-15页 |
| 1.2 多晶硅的传统制备工艺 | 第15-17页 |
| 1.2.1 改良西门子法 | 第15-16页 |
| 1.2.2 硅烷法 | 第16-17页 |
| 1.2.3 流化床法 | 第17页 |
| 1.3 多晶硅切片技术简介 | 第17-20页 |
| 1.3.1 外圆切割技术 | 第18页 |
| 1.3.2 内圆切割技术 | 第18-19页 |
| 1.3.3 多线锯切割技术 | 第19-20页 |
| 1.4 金刚线切割废料的产生及回收利用 | 第20-21页 |
| 1.4.1 金刚线切割废料的产生 | 第20页 |
| 1.4.2 金刚线切割废料的回收利用 | 第20-21页 |
| 1.5 本文研究的目的、意义及内容 | 第21-24页 |
| 1.5.1 本文研究的目的及意义 | 第21-22页 |
| 1.5.2 本文研究的主要内容 | 第22-24页 |
| 1.6 本研究的特点 | 第24-25页 |
| 第2章 切割废料性质的研究 | 第25-31页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 切割废料的化学组成 | 第25-26页 |
| 2.3 切割废料的物相组成 | 第26-27页 |
| 2.4 切割废料的红外光谱分析 | 第27页 |
| 2.5 切割废料的形貌及EDS能谱分析 | 第27-29页 |
| 2.6 切割废料的粒度分析 | 第29-30页 |
| 2.7 切割废料的各组分含量 | 第30页 |
| 2.8 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 切割废料净化除铁的研究 | 第31-53页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 切割废料的常规酸浸除铁 | 第31-38页 |
| 3.2.1 铁浸出热力学分析 | 第31-33页 |
| 3.2.2 实验药品及仪器 | 第33页 |
| 3.2.3 实验步骤 | 第33-34页 |
| 3.2.4 实验结果与讨论 | 第34-38页 |
| 3.3 切割废料的超声酸浸除铁 | 第38-43页 |
| 3.3.1 超声波的空化作用 | 第38页 |
| 3.3.2 实验药品及仪器 | 第38-39页 |
| 3.3.3 实验步骤 | 第39页 |
| 3.3.4 实验结果与讨论 | 第39-42页 |
| 3.3.5 优化条件下杂质铁的去除效果对比 | 第42-43页 |
| 3.4 酸浸除铁的动力学研究 | 第43-50页 |
| 3.4.1 常规酸浸除铁的动力学研究 | 第43-48页 |
| 3.4.2 超声酸浸除铁的动力学研究 | 第48-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-53页 |
| 第4章 常压感应炉冶炼高纯硅的研究 | 第53-67页 |
| 4.1 引言 | 第53页 |
| 4.2 实验原理 | 第53-54页 |
| 4.3 实验原料与设备 | 第54-55页 |
| 4.3.1 实验原料 | 第54页 |
| 4.3.2 实验设备 | 第54-55页 |
| 4.4 实验过程 | 第55页 |
| 4.4.1 实验原料的准备 | 第55页 |
| 4.4.2 实验操作 | 第55页 |
| 4.5 实验结果与分析 | 第55-66页 |
| 4.5.1 产物硅的检测 | 第57-59页 |
| 4.5.2 炉渣的检测 | 第59-64页 |
| 4.5.3 炉盖沉积物的检测 | 第64-66页 |
| 4.6 本章小结 | 第66-67页 |
| 第5章 真空感应炉冶炼高纯硅的研究 | 第67-79页 |
| 5.1 引言 | 第67页 |
| 5.2 实验原理 | 第67页 |
| 5.3 实验原料与设备 | 第67-68页 |
| 5.3.1 实验原料 | 第67页 |
| 5.3.2 实验设备 | 第67-68页 |
| 5.4 实验过程 | 第68-69页 |
| 5.4.1 实验原料的准备 | 第68页 |
| 5.4.2 实验操作 | 第68-69页 |
| 5.5 实验结果与分析 | 第69-77页 |
| 5.5.1 产物硅的检测 | 第71-73页 |
| 5.5.2 炉渣的检测 | 第73-77页 |
| 5.6 本章小结 | 第77-79页 |
| 第6章 结论与展望 | 第79-81页 |
| 6.1 结论 | 第79-80页 |
| 6.2 展望 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
