| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 微光学器件 | 第9页 |
| 1.2 微透镜阵列 | 第9-10页 |
| 1.3 平面微透镜阵列 | 第10页 |
| 1.4 异形孔径平面微透镜阵列 | 第10-11页 |
| 1.5 平面微透镜阵列的制作工艺 | 第11-12页 |
| 1.6 微透镜阵列的应用 | 第12-16页 |
| 1.7 本文的研究意义和主要内容 | 第16-18页 |
| 参考文献 | 第18-22页 |
| 第二章 方形孔径平面微透镜阵列的聚焦特性和散焦特性 | 第22-34页 |
| 2.1 引言 | 第22-23页 |
| 2.2 方形孔径平面微透镜阵列提高填充率的离子交换动力学分析 | 第23-24页 |
| 2.3 透镜元与角落区域的光线轨迹及物像关系 | 第24-27页 |
| 2.3.1 透镜元光线追迹 | 第24-26页 |
| 2.3.2 角落区域光线追迹 | 第26-27页 |
| 2.4 实验测试与分析 | 第27-31页 |
| 2.4.1 方形孔径平面微透镜阵列填充情况测试 | 第27页 |
| 2.4.2 折射率分布的模拟与测试 | 第27-29页 |
| 2.4.3 成像测试 | 第29-31页 |
| 2.5 结论 | 第31-32页 |
| 参考文献 | 第32-34页 |
| 第三章 电场辅助的光刻离子交换工艺研究 | 第34-46页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 离子交换的研究意义和机理 | 第34-37页 |
| 3.2.1 离子交换技术的研究意义 | 第34页 |
| 3.2.2 离子交换机理 | 第34-36页 |
| 3.2.3 离子交换理论模型 | 第36-37页 |
| 3.3 光刻离子交换法制作平面微透镜阵列的制作流程 | 第37-40页 |
| 3.4 实验结果与分析 | 第40-43页 |
| 3.4.1 测试结果 | 第40页 |
| 3.4.2 结果讨论与分析 | 第40-43页 |
| 3.5 结论 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-46页 |
| 第四章 结束语 | 第46-48页 |
| 4.1 主要内容回顾 | 第46页 |
| 4.2 创新点说明 | 第46-47页 |
| 4.3 存在问题与展望 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 攻读硕士期间工作情况 | 第49页 |
