金属有机物化学气相沉积设备加热系统研究与设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-21页 |
| 1.1 MOCVD 概述 | 第8-13页 |
| 1.2 加热系统 | 第13-16页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第16-20页 |
| 1.4 研究内容和论文安排 | 第20-21页 |
| 2 建模仿真理论 | 第21-30页 |
| 2.1 传热学理论 | 第22-25页 |
| 2.2 流体力学理论 | 第25-26页 |
| 2.3 传热分析的边界条件 | 第26-27页 |
| 2.4 有限元方法 | 第27-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 3 加热系统仿真验证及结构设计 | 第30-50页 |
| 3.1 仿真模型的建立 | 第30-34页 |
| 3.2 加热器材料选择 | 第34-36页 |
| 3.3 设计三区式加热电阻片 | 第36-39页 |
| 3.4 加热电阻片外形补偿设计 | 第39-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 喷淋气流以及喷淋面反射率对温度的影响 | 第50-60页 |
| 4.1 喷淋气流对温度的影响 | 第50-54页 |
| 4.2 发射率对石墨盘温度的影响 | 第54-59页 |
| 4.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 5 总结和展望 | 第60-62页 |
| 5.1 本文总结 | 第60页 |
| 5.2 建议及展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第67页 |
