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CdTe薄膜在SrTiO3(111)衬底上的分子束外延及其光谱与光电性质研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第11-27页
    1.1.半导体材料CdTe概述第11-15页
        1.1.1.CdTe晶体结构第12页
        1.1.2.CdTe材料的主要应用领域介绍第12-15页
    1.2.钙钛矿氧化物SrTiO_3与半导体材料之间的大失配外延生长第15-21页
        1.2.1.SrTiO_3在半导体衬底上的外延生长第15-18页
        1.2.2.SrTiO_3衬底上半导体材料的外延生长第18-21页
    1.3.本论文的主要工作第21-23页
    本章参考文献第23-27页
第二章 CdTe薄膜主要制备手段与微结构的表征方法第27-35页
    2.1.CdTe薄膜制备方法简介第27-29页
        2.1.1.分子束外延技术(MBE)第27页
        2.1.2.MBE生长系统的结构与原理第27-29页
    2.2.薄膜的晶体结构与表面微结构表征方法第29-32页
        2.2.1.反射高能电子衍射(RHEED)第29-30页
        2.2.2.原子力显微镜(AFM)第30-31页
        2.2.3.X射线衍射(XRD)第31-32页
    本章小结第32-33页
    本章参考文献第33-35页
第三章 CdTe薄膜的制备与表征第35-49页
    3.1.研究背景第35页
    3.2.实验细节第35-40页
        3.2.1.STO衬底的表面预处理第35-39页
        3.2.2.STO衬底原位退火第39-40页
    3.3.在STO(111)衬底上外延生长CdTe单晶薄膜第40-45页
        3.3.1.在STO(111)衬底上外延生长CdTe薄膜的外延模式第40页
        3.3.2.AFM表面形貌图像第40-41页
        3.3.3.CdTe薄膜的X射线衍射图谱第41-43页
        3.3.4.CdTe薄膜与STO衬底之间的应力弛豫第43-45页
    本章小结第45-47页
    本章参考文献第47-49页
第四章 CdTe外延薄膜的光学特性第49-61页
    4.1.研究背景第49页
    4.2.CdTe外延薄膜的透射谱第49-52页
    4.3.CdTe外延薄膜的光致发光谱第52-55页
    4.4.CdTe外延薄膜的输运与光电性质第55-58页
    本章小结第58-59页
    本章参考文献第59-61页
第五章 总结与展望第61-63页
    5.1.总结第61页
    5.2.展望第61-63页
攻读硕士期间发表的文章第63-64页
致谢第64-65页

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