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掺杂稀土元素的纳米晶硅薄膜的发光特性研究

目录第4-6页
Concent第6-8页
中文摘要第8-10页
ABSTRACT第10-11页
第一章 绪论第12-40页
    1.1 、发光材料的分类第12-16页
        1.1.1 、光致发光第12-13页
        1.1.2 、电致发光第13页
        1.1.3 、热释发光第13-14页
        1.1.4 、光释发光第14页
        1.1.5 、阴极射线发光第14-15页
        1.1.6 、辐射发光第15页
        1.1.7 、应力发光第15页
        1.1.8 、化学发光第15-16页
        1.1.9 、生物发光第16页
    1.2 、发光材料的应用第16-20页
        1.2.1 、照明技术第16-18页
        1.2.2 、显示技术第18-19页
        1.2.3 、太阳能电池第19页
        1.2.4 、食品安全检测第19-20页
        1.2.5 、其他第20页
    1.3 、光电集成第20-23页
        1.3.1 、光电集成的意义第20-22页
        1.3.2 、光电集成面临的难题第22-23页
    1.4 、硅基发光材料研究综述第23-34页
        1.4.1 、硅发光弱的原因第23-24页
        1.4.2 、改善硅发光的途径第24-26页
        1.4.3 、硅基发光材料研究概况第26-33页
        1.4.4 、稀土掺杂硅基发光材料研究中遇到的问题第33-34页
    1.5 、本文的研究内容第34-36页
    参考文献第36-40页
第二章 铈掺杂硅基材料的红外光谱研究第40-66页
    2.1 、主要掺杂技术简介第40-47页
        2.1.1 、扩散技术第40-42页
        2.1.2 、离子注入第42-47页
    2.2 、真空蒸发镀膜技术简介第47-51页
        2.2.1 、重要参数第47-48页
        2.2.2 、蒸发源分类[11-12]第48-50页
        2.2.3 、几种常用的蒸镀法[11-12]第50-51页
    2.3 、红外光谱基本原理第51-53页
    2.4 、样品制备第53-54页
    2.5 、实验结果分析第54-62页
        2.5.1 、红外吸收谱试验结果分析第54-59页
        2.5.2 、红外反射谱试验结果分析第59-62页
    2.6 、总结第62-63页
    参考文献第63-66页
第三章 Ce~(3+)掺杂SiO_2材料的光致发光研究第66-79页
    3.1 、薄膜性能分析技术第66-67页
    3.2 、Ce~(3+)掺杂SiO_2的光致发光性能研究第67-75页
        3.2.1 、样品的制备第67-68页
        3.2.2 、掺杂浓度对样品光致发光性能的影响第68-71页
        3.2.3 、退火温度对样品光致发光性能的影响第71-73页
        3.2.4 、退火气氛对样品光致发光性能的影响第73-75页
    3.3 、总结第75-76页
    参考文献第76-79页
第四章 全文总结第79-81页
致谢第81-82页
攻读学位期间发表的学术论文目录第82-83页
学论文评闻答辩情况第83页

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