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硅的化学刻蚀及其在光伏中的应用

中文摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第9-32页
    1.1 硅纳米材料概述第9-10页
    1.2 硅纳米线的性质第10-13页
        1.2.1 硅纳米线的电学性能第10-11页
        1.2.2 硅纳米线的光学性能第11-13页
        1.2.3 硅纳米线的热力学性能第13页
    1.3 硅纳米线的制备第13-21页
        1.3.1 自下而上制备方法:化学气象沉积(CVD)第14-16页
        1.3.2 自上而下制备方法第16-21页
    1.4 硅纳米线在太阳能电池中的应用现状第21-24页
        1.4.1 p-n 结太阳电池第21-22页
        1.4.2 肖特基结太阳能电池第22-23页
        1.4.3 电化学太阳电池第23页
        1.4.4 异质结太阳电池第23-24页
    1.5 本论文研究思路第24-25页
    参考文献第25-32页
第二章 无模板法制备硅纳米线和纳米孔第32-42页
    2.1 引言第32页
    2.2 实验部分第32-34页
        2.2.1 实验材料及设备第32-33页
        2.2.2 实验步骤第33-34页
    2.3 结果与讨论第34-39页
        2.3.1 金属薄膜在硅片上的热退火过程第34-36页
        2.3.2 利用退火金属制备硅纳米线和纳米孔第36-38页
        2.3.3 刻蚀过程中出现的其他形貌第38-39页
    2.4 本章小结第39-40页
    参考文献第40-42页
第三章 纳米球模板法制备高规整纳米线阵列及其表面修饰第42-52页
    3.1 引言第42-43页
    3.2 实验部分第43-44页
        3.2.1 实验材料及设备第43页
        3.2.2 实验步骤第43-44页
    3.3 结果与讨论第44-49页
        3.3.1 RIE 反应时间对 PS 小球直径的影响第44-46页
        3.3.2 带孔金薄膜的制备第46页
        3.3.3 利用带孔金属薄膜制备硅纳米线阵列第46-47页
        3.3.4 硅纳米线阵列的光学性质第47-48页
        3.3.5 对硅纳米线的表面修饰第48-49页
    3.4 本章小结第49-50页
    参考文献第50-52页
第四章 硅纳米线-PEDOT:PSS 杂化光伏电池第52-69页
    4.1 引言第52-53页
    4.2 实验部分第53-56页
        4.2.1 实验材料及设备第53-54页
        4.2.2 实验步骤第54-56页
    4.3 结果与讨论第56-65页
        4.3.1 转速对杂化电池性能的影响第56-57页
        4.3.2 不同背部金属电极对器件性能的影响第57页
        4.3.3 钝化对硅纳米线-PEDOT:PSS 杂化电池性能的影响第57-59页
        4.3.4 PCl_5处理时间对器件性能的影响第59-62页
        4.3.5 器件暗电流的拟合和分析第62-63页
        4.3.6 对硅纳米线器件的光学模拟和电学绘制表征第63-65页
    4.4 本章小结第65-66页
    参考文献第66-69页
第五章 总结与展望第69-72页
攻读学位期间本人出版或公开发表的论著、论文第72-73页
致谢第73-74页

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