| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 GaAs器件的发展史及可靠性研究进展 | 第8-10页 |
| 1.2 本文主要工作 | 第10页 |
| 1.3 本论文的结构安排 | 第10-12页 |
| 第二章 GaAs pHEMT可靠性测试研究 | 第12-56页 |
| 2.1 GaAs pHEMT工艺制造流程简介 | 第12-17页 |
| 2.2 可靠性的基本概念及相关知识 | 第17-19页 |
| 2.3 GaAs pHEMT工艺常见的可靠性问题及解决方案 | 第19-24页 |
| 2.4 GaAs pHEMT工艺及产品常用的可靠性测试项目 | 第24-46页 |
| 2.4.1 GaAs pHEMT工艺可靠性测试 | 第25-44页 |
| 2.4.2 GaAs pHEMT产品可靠性测试 | 第44-46页 |
| 2.5 可靠性测试流程 | 第46-54页 |
| 2.5.1 工艺可靠性测试流程 | 第46-53页 |
| 2.5.2 产品可靠性测试流程 | 第53-54页 |
| 2.6 本章小结 | 第54-56页 |
| 第三章 GaAs pHEMT加速寿命测试及测试系统的改良方案 | 第56-66页 |
| 3.1 pHEMT加速寿命测试 | 第56-58页 |
| 3.2 pHEMT器件寿命测试系统分析及改造方案 | 第58-65页 |
| 3.2.1 器件寿命测试系统功能描述： | 第60-61页 |
| 3.2.2 器件寿命测试系统模块性能及选型 | 第61-64页 |
| 3.2.3 控制系统 | 第64-65页 |
| 3.3 本章小结 | 第65-66页 |
| 第四章 结论 | 第66-69页 |
| 4.1 本文的主要贡献 | 第67页 |
| 4.2 下一步工作的展望 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
