| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 非极性材料的研究意义 | 第11-12页 |
| 1.1.1 GaN 材料的基本结构 | 第11-12页 |
| 1.1.2 GaN 材料的发展历程 | 第12页 |
| 1.2 量子限制斯塔克效应 | 第12-14页 |
| 1.3 非极性材料的研究现状和进展 | 第14-16页 |
| 1.4 非极性材料的优点和存在的问题 | 第16-17页 |
| 1.4.1 非极性材料的优点 | 第16页 |
| 1.4.2 非极性材料存在的问题 | 第16-17页 |
| 1.5 本文的研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 非极性材料的生长及表征 | 第19-31页 |
| 2.1 非极性材料表征手段介绍 | 第19-24页 |
| 2.1.1 高分辨率 X 射线衍射（HRXRD） | 第19-20页 |
| 2.1.2 原子力显微镜（AFM） | 第20-21页 |
| 2.1.3 拉曼光谱（Raman） | 第21-22页 |
| 2.1.4 光致发光谱（PL 谱） | 第22-23页 |
| 2.1.5 扫描电子显微镜(SEM) | 第23页 |
| 2.1.6 透射电子显微镜(TEM)[2.7] | 第23-24页 |
| 2.1.7 二次离子质谱(SIMS) | 第24页 |
| 2.2 非极性材料的特性与表征方法 | 第24-28页 |
| 2.2.1 非极性 a 面 GaN 和极性 c 面 GaN 结构特性 | 第25页 |
| 2.2.2 非极性 a 面 GaN 和极性 c 面 GaN 表面特征 | 第25-26页 |
| 2.2.3 非极性材料和常规极性材料的 HRXRD 比较 | 第26-27页 |
| 2.2.4 非极性材料和常规极性材料的 Raman 比较 | 第27-28页 |
| 2.3 非极性材料的生长方法简介 | 第28-30页 |
| 2.3.1 非极性材料生长衬底的选择 | 第28-29页 |
| 2.3.2 非极性材料生长的优化 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 基于湿法腐蚀的高质量非极性材料生长研究 | 第31-41页 |
| 3.1 湿法腐蚀简介 | 第31-32页 |
| 3.2 非极性 GaN 的湿法腐蚀研究 | 第32-34页 |
| 3.2.1 腐蚀试验条件及过程 | 第32-33页 |
| 3.2.2 不同温度下非极性 GaN 腐蚀研究 | 第33-34页 |
| 3.3 湿法腐蚀提高非极性材料的结晶质量 | 第34-39页 |
| 3.3.1 非极性材料的腐蚀再生长过程 | 第34-35页 |
| 3.3.2 非极性材料的腐蚀再生长结果 | 第35-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 SiNx 插入层对非极性 GaN 材料的影响 | 第41-51页 |
| 4.1 ELOG 简介 | 第41-45页 |
| 4.1.1 极性材料的 ELOG | 第41-43页 |
| 4.1.2 非极性材料的 ELOG | 第43-45页 |
| 4.2 外部淀积 SiNx 插入层对非极性材料的影响 | 第45-50页 |
| 4.2.1 采用 SiNx 插入层的非极性 a 面 GaN 的生长 | 第45-46页 |
| 4.2.2 再生长材料的试验结果及分析 | 第46-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 结论 | 第51-55页 |
| 致谢 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 攻读硕士期间研究成果与获奖情况 | 第63-65页 |
