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半导体器件制造工艺及设备
脉冲激光作用锡靶等离子体的羽辉膨胀过程及辐射光谱研究
浸没光刻机浸液温控系统设计分析与实现
浸液温度控制建模与算法实现
多维光存储记录符光学特性及其基于相变光刻制备方法研究
基于纳米多孔铜结构的低温热压键合技术研究
AlNiGd金属玻璃相变光刻湿法刻蚀工艺研究
微纳系统电子束光刻关键技术及相关机理研究
飞秒激光湿法刻蚀硅基微纳结构
片式LED编带机控制系统的设计与开发
基于DLP应用的光刻物镜设计与微型投影机光学系统研究
基于啁啾光栅的表面等离子体超分辨光刻间隙检测数值模拟与实验研究
DFN1006新型引线键合设计与实现
亚固结磨料线锯挂浆性能研究
石英晶体基片高效精密加工装备控制系统研制
“轮廓加工”工艺及其应用研究
浸没式光刻两级气液分离装置研究
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晶体表面的离子束刻蚀机理研究
激光辅助水射流切割单晶硅的微槽特征模型和工艺参数优化研究
用于仿生自清洁微结构的干涉光刻技术研究
切片机轴承箱实验台设计与滚动轴承弹流润滑研究
基于VPX总线的工件台运动控制系统研究与开发
水导激光切割晶圆预对准及水束激光耦合技术研究
表面等离子体超分辨光刻间隙检测与调平技术研究
多自由度磁悬浮微动台的基础研究
多重入复杂制造系统的多尺度建模与优化控制研究
用于硅晶片加工的划刀片结构优化及其工艺研究
基于VxWorks的双工件台实时软件设计
极紫外光源收集系统设计与加工方法研究
双工件台上位机系统的设计与实现
光刻机双工件台系统数学模型的建立与验证
压印法蓝宝石纳米图形衬底的制备及评价
深紫外浸没式光刻投影物镜设计
双工件台光刻机虚拟现实三维仿真平台设计
微管气液两相流的淹没喷流特性研究
密度泛函理论在晶体掺杂中的应用--Sr和磁性原子掺杂Ca_2Ge材料的第一性原理研究
磁性磨粒的常压烧结法制备及其性能研究
半导体晶圆制造自动物料运输系统实时调度方法研究
晶圆划片机管控一体化系统的研究与开发
显影液中光刻胶浓度对特征线宽的影响研究
系统级封装中电源完整性的分析与研究
一种基于窗口的双重图形版图分解方法
全包封产品的绝缘问题失效机理及改善
聚焦离子束的微结构溅射刻蚀轮廓计算方法
氯氩感应耦合等离子体脉冲调制射频偏压对原子层刻蚀影响的研究
表面等离子体共振腔超衍射极限成像和光刻技术研究
多线锯振动辅助装置开发及实验研究
等离子刻蚀机下位机控制系统的设计与实现
二次离子质谱定性定量分析在半导体掺杂工艺中的应用
半导体工业生产封装工序动态温度采集系统开发及工艺控制优化
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