多线锯振动辅助装置开发及实验研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题的研究背景和意义 | 第10-12页 |
| 1.2 硅片切割技术 | 第12-15页 |
| 1.2.1 外圆切割技术 | 第12页 |
| 1.2.2 内圆切割技术 | 第12-13页 |
| 1.2.3 游离磨料多线切割技术 | 第13-14页 |
| 1.2.4 固结磨料多线切割技术 | 第14-15页 |
| 1.3 多线锯加工设备国内外研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3.1 国外研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3.2 国内研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3.3 多线切割发展趋势 | 第17-18页 |
| 1.4 振动用于多线锯的研究进展 | 第18页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 振动作用下多线切割加工理论分析 | 第20-32页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 游离磨料线锯材料移除理论 | 第20-24页 |
| 2.3 振动作用下材料去除率模型 | 第24-31页 |
| 2.3.1 切割线加工受力分析 | 第24页 |
| 2.3.2 单颗磨粒去除率模型 | 第24-27页 |
| 2.3.3 切割速率推导 | 第27-29页 |
| 2.3.4 振动辅助作用下切割速率的增长率 | 第29-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 振动辅助装置开发及仿真 | 第32-50页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 偏心振动台的设计及仿真 | 第32-40页 |
| 3.2.1 偏心振动台的工作原理 | 第32-33页 |
| 3.2.2 偏心振动台的结构设计 | 第33-35页 |
| 3.2.3 电机的选型 | 第35-37页 |
| 3.2.4 偏心振动台模态分析 | 第37-39页 |
| 3.2.5 偏心振动台谐响应分析 | 第39-40页 |
| 3.3 液压振动台的设计及仿真 | 第40-49页 |
| 3.3.1 液压振动台的工作原理 | 第40-41页 |
| 3.3.2 单作用振动缸的设计 | 第41-42页 |
| 3.3.3 激振阀的结构设计 | 第42-44页 |
| 3.3.4 伺服电机的控制 | 第44-45页 |
| 3.3.5 振动缸模态分析 | 第45-47页 |
| 3.3.6 振动缸谐响应分析 | 第47-49页 |
| 3.3.7 振动缸的优化 | 第49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 振动辅助多线切割试验研究 | 第50-72页 |
| 4.1 实验机床 | 第50-51页 |
| 4.2 实验材料 | 第51-53页 |
| 4.2.1 工件材料 | 第51-52页 |
| 4.2.2 切割线 | 第52页 |
| 4.2.3 切削液 | 第52-53页 |
| 4.3 激光位移传感器测试实验 | 第53-58页 |
| 4.3.1 激光位移传感器测试系统搭建 | 第53-54页 |
| 4.3.2 偏心振动台位移特性 | 第54-57页 |
| 4.3.3 液压振动台位移特性 | 第57-58页 |
| 4.4 切割线带浆作用实验 | 第58-62页 |
| 4.5 走线速度及振动对切割效率的影响 | 第62-64页 |
| 4.6 工艺参数及振动对表面粗糙度的影响 | 第64-70页 |
| 4.6.1 表面粗糙度的定义及测量方法 | 第65-66页 |
| 4.6.2 走线速度对表面粗糙度的影响 | 第66-67页 |
| 4.6.3 进给速度对表面粗糙度的影响 | 第67-68页 |
| 4.6.4 液压振动对表面粗糙度的影响 | 第68-69页 |
| 4.6.5 偏心距振动台振动对表面粗糙度的影响 | 第69-70页 |
| 4.7 本章小结 | 第70-72页 |
| 第5章 结论与展望 | 第72-74页 |
| 5.1 结论 | 第72-73页 |
| 5.2 创新点 | 第73页 |
| 5.3 展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
