基于啁啾光栅的表面等离子体超分辨光刻间隙检测数值模拟与实验研究
| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 引言 | 第8-10页 |
| 1.2 课题研究的背景及意义 | 第10页 |
| 1.3 纳米间隙测量国内外研究现状 | 第10-19页 |
| 1.3.1 非光学测量方法 | 第11-12页 |
| 1.3.2 光学测量方法 | 第12-18页 |
| 1.3.3 间隙测量方法比较 | 第18-19页 |
| 1.4 结构安排 | 第19-20页 |
| 2 啁啾光栅间隙测量原理 | 第20-27页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 啁啾光栅测量的基本原理 | 第20-26页 |
| 2.2.1 空气间隙测量的基本原理 | 第20-22页 |
| 2.2.2 检测的理论模型 | 第22-23页 |
| 2.2.3 粗检测的基本原理 | 第23-24页 |
| 2.2.4 光栅周期固定方向的入射角 | 第24-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 啁啾光栅间隙测量数值模拟 | 第27-35页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 MATLAB数学模型的建立 | 第27-28页 |
| 3.3 啁啾光栅间隙测量影响因素分析 | 第28-32页 |
| 3.3.1 K/C对间隙测量的影响 | 第29-30页 |
| 3.3.2 周期数N对间隙测量的影响 | 第30-32页 |
| 3.4 法布里-珀罗效影响 | 第32-34页 |
| 3.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 4 间隙检测中的图像处理及频率和相位提取方法研究 | 第35-45页 |
| 4.1 引言 | 第35页 |
| 4.2 图像处理 | 第35-37页 |
| 4.3 莫尔条纹频率相位提取的基本原理 | 第37-38页 |
| 4.4 频谱泄漏和栅栏效应 | 第38-44页 |
| 4.4.1 窗口性能比较 | 第40-43页 |
| 4.4.2 添零处理 | 第43-44页 |
| 4.5 本章小节 | 第44-45页 |
| 5 啁啾光栅设计加工与间隙检测实验 | 第45-59页 |
| 5.1 引言 | 第45页 |
| 5.2 检测系统的总体构成 | 第45-46页 |
| 5.3 啁啾光栅的设计与加工 | 第46-53页 |
| 5.3.1 间隙检测啁啾光栅设计加工 | 第46-48页 |
| 5.3.2 间隙衔接检测啁啾光栅设计加工 | 第48-50页 |
| 5.3.3 角度校正光栅设计加工 | 第50-53页 |
| 5.4 实验结果分析 | 第53-56页 |
| 5.5 误差来源分析 | 第56-57页 |
| 5.6 本章小结 | 第57-59页 |
| 6 总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 总结 | 第59-60页 |
| 6.2 主要不足与展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 附录 | 第66页 |
| A. 作者在攻读硕士学位期间发表的论文目录： | 第66页 |
| B. 作者在攻读硕士学位期间取得的科研成果目录： | 第66页 |
| C. 作者在攻读硕士学位期间参加的科研项目： | 第66页 |
