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半导体工业生产封装工序动态温度采集系统开发及工艺控制优化

中文摘要第3-4页
ABSTRACT第4页
第一章 绪论第7-17页
    1.1 课题背景及研究意义第7-8页
    1.2 数据采集及温度测量技术国内外发展现状第8-12页
    1.3 六西格玛质量管理的国内外发展现状第12-15页
    1.4 本论文的主要工作及章节安排第15-17页
第二章 封装工序及六西格玛质量管理方法简介第17-24页
    2.1 封装工序简介第17-18页
    2.2 工艺优化所采用的六西格玛质量管理方法简介第18-24页
第三章 动态温度采集系统设计及实现第24-54页
    3.1 温度控制系统硬件架设第24-35页
        3.1.1 设备系统框架第24-25页
        3.1.2 温度检测传感器及PLC 选型与布局第25-28页
        3.1.3 动态温度控制的实现第28-35页
    3.2 温度采集系统设计及实现第35-53页
        3.2.1 系统设计流程第35-37页
        3.2.2 上位机与下位机通讯的建立第37-42页
        3.2.3 温度数据实时采集及输出的实现第42-50页
        3.2.4 多线程技术对HMI 人机交互界面响应时间的优化第50-53页
    3.3 动态温度采集系统在生产中的实际应用第53-54页
第四章 六西格玛方法在原材料/温度参数优化中的应用第54-88页
    4.1 界定(Define)-工序现状分析及良品率的状况第54页
    4.2 测量(Measure)-检验得出设备/工艺的原始状况及改进依据第54-58页
    4.3 分析(Analyze)-找出影响生产良品率问题的关键点第58-66页
        4.3.1 良品率损失因素分析第58-59页
        4.3.2 变异源(SOV)分析第59-66页
    4.4 提高(Improve)—原材料及工艺改进第66-86页
        4.4.1 原材料改进-新型陶瓷盖的认证第66-69页
        4.4.2 工艺改进-采用六西格玛DOE 实验设计方法完成工艺优化第69-86页
    4.5 控制(Control) 巩固取得的成果第86-88页
第五章 结论第88-89页
参考文献第89-93页
发表论文和科研情况说明第93-94页
致谢第94页

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