| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8-10页 |
| 1.2 极紫外光刻机组成简介 | 第10-11页 |
| 1.3 毛细管 XE 气放电极紫外光源简介 | 第11-12页 |
| 1.4 极紫外光源收集系统简介 | 第12-18页 |
| 1.4.1 收集系统的作用要求及光学结构形式 | 第12-16页 |
| 1.4.2 极紫外光源收集系统发展现状及发展趋势 | 第16-18页 |
| 1.5 课题研究的主要内容 | 第18-19页 |
| 第2章 极紫外光源收集系统基础理论研究 | 第19-31页 |
| 2.1 收集系统特性分析 | 第19-22页 |
| 2.1.1 掠入射工作原理分析 | 第19-20页 |
| 2.1.2 内嵌式结构工作原理分析 | 第20-22页 |
| 2.2 收集系统光学参数分析 | 第22-25页 |
| 2.3 收集系统的收集效率研究 | 第25-28页 |
| 2.3.1 单层收集镜收集效率研究 | 第25-27页 |
| 2.3.2 收集系统收整体集效率研究 | 第27-28页 |
| 2.4 收集系统集光度研究 | 第28-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 极紫外光源收集系统设计与三维仿真 | 第31-66页 |
| 3.1 毛细管 XE 气放电极紫外光源辐射特性计算 | 第31-39页 |
| 3.2 收集系统光学设计 | 第39-49页 |
| 3.2.1 收集系统设计指标论证 | 第39-42页 |
| 3.2.2 收集系统面形设计 | 第42-49页 |
| 3.3 收集系统三维仿真 | 第49-59页 |
| 3.3.1 毛细管 Xe 气放电极紫外光源仿真 | 第50页 |
| 3.3.2 收集系统结构仿真 | 第50-51页 |
| 3.3.3 收集系统光线追迹 | 第51-55页 |
| 3.3.4 Tracepro 仿真模型验证 | 第55-59页 |
| 3.4 收集镜壳体厚度的确定 | 第59-64页 |
| 3.4.1 收集系统内极紫外光分布情况分析 | 第59-60页 |
| 3.4.2 收集镜壳体厚度对收集效率影响计算 | 第60-61页 |
| 3.4.3 计算结果分析 | 第61-64页 |
| 3.5 本章小结 | 第64-66页 |
| 第4章 极紫外光源收集镜加工与检测方法探索 | 第66-82页 |
| 4.1 收集镜加工方法研究 | 第66-73页 |
| 4.1.1 收集镜心轴复制加工方法简介 | 第66-70页 |
| 4.1.2 收集镜车削加工方法介绍与分析 | 第70-73页 |
| 4.2 收集镜面形检验方法研究 | 第73-80页 |
| 4.2.1 收集镜面形检验原理 | 第74-75页 |
| 4.2.2 收集镜面形检验平台 | 第75-78页 |
| 4.2.3 收集镜面形检测结果与分析 | 第78-80页 |
| 4.3 本章小结 | 第80-82页 |
| 第5章 极紫外光源收集系统集成研究 | 第82-96页 |
| 5.1 收集系统集成公差分析 | 第82-92页 |
| 5.1.1 收集系统集成公差模型研究 | 第82-85页 |
| 5.1.2 收集系统公差仿真计算 | 第85-92页 |
| 5.2 收集系统集成方案与集成平台设计 | 第92-94页 |
| 5.2.1 收集系统集成方案分析 | 第92-93页 |
| 5.2.2 收集系统集成平台初步设计 | 第93-94页 |
| 5.3 本章小结 | 第94-96页 |
| 结论 | 第96-98页 |
| 参考文献 | 第98-102页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第102-104页 |
| 致谢 | 第104页 |