| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 研究目的及意义 | 第9-10页 |
| 1.3 虚拟现实技术及场景开发平台研究现状 | 第10-12页 |
| 1.4 本文的主要内容 | 第12-14页 |
| 第2章 双工件台光刻机虚拟现实仿真实体几何建模及其运动关系分析 | 第14-36页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 三维实体几何建模 | 第14-18页 |
| 2.2.1 基于图像空间的算法 | 第15页 |
| 2.2.2 基于离散矢量的算法 | 第15-16页 |
| 2.2.3 直接实体造型法 | 第16-18页 |
| 2.3 光刻机掩模台及双工件台系统定位模块建模 | 第18-20页 |
| 2.4 光刻机掩模台双工件台系统三维实体模型建模 | 第20-25页 |
| 2.4.1 模型缩放法建模 | 第20-24页 |
| 2.4.2 布尔运算法建模 | 第24-25页 |
| 2.5 光刻机掩模台双工件台系统零件实体装配 | 第25-26页 |
| 2.6 光刻机掩模台及双工件台系统运动关系分析 | 第26-35页 |
| 2.6.1 掩模台系统运动关系分析 | 第26-34页 |
| 2.6.2 双工件台系统运动关系分析 | 第34-35页 |
| 2.7 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 双工件台光刻机虚拟现实仿真平台场景建立 | 第36-55页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 光刻机虚拟现实场景开发平台简介 | 第36-38页 |
| 3.2.1 Open Inventor 主要结构 | 第36-38页 |
| 3.2.2 Open Inventor 的特点 | 第38页 |
| 3.2.3 Visual C++ 6.0 简介 | 第38页 |
| 3.3 光刻机虚拟现实系统光照模型与光源模型选择 | 第38-44页 |
| 3.3.1 光刻机虚拟现实系统光照模型分析与选择 | 第38-42页 |
| 3.3.2 光刻机虚拟现实系统光源节点模型分析与选择 | 第42-44页 |
| 3.4 光刻机虚拟现实仿真平台三维场景的建立 | 第44-53页 |
| 3.5 光刻机虚拟现实仿真平台数据传输模块设计 | 第53-54页 |
| 3.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 第4章 双工件台光刻机虚拟现实三维仿真平台实现与优化 | 第55-77页 |
| 4.1 引言 | 第55页 |
| 4.2 光刻机掩模台双工件台工件台系统虚拟现实平台实现 | 第55-57页 |
| 4.3 仿真平台网络通信模块与本地文件读写模块实现 | 第57-59页 |
| 4.4 ML 数据传输优化算法 | 第59-66页 |
| 4.4.1 算法描述 | 第59-62页 |
| 4.4.2 ML 算法仿真 | 第62-66页 |
| 4.5 集相关数据传输优化算法 | 第66-68页 |
| 4.5.1 算法描述 | 第66页 |
| 4.5.2 算法仿真 | 第66-68页 |
| 4.6 基 S 长度块相关数据传输优化算法 | 第68-72页 |
| 4.6.1 算法描述 | 第68-70页 |
| 4.6.2 算法仿真 | 第70-72页 |
| 4.7 三种数据传输优化算法的性能比较 | 第72-75页 |
| 4.8 本章小结 | 第75-77页 |
| 结论 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
