| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 课题背景 | 第8-9页 |
| 1.2 光刻机的发展 | 第9-11页 |
| 1.3 实时操作系统的发展和现状 | 第11-12页 |
| 1.4 本课题的来源及主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第2章 双工件台系统执行流程总体方案设计 | 第13-28页 |
| 2.1 引言 | 第13页 |
| 2.2 双工件台系统总体介绍 | 第13-16页 |
| 2.3 系统执行流程 | 第16-22页 |
| 2.4 系统功能框图 | 第22-25页 |
| 2.4.1 顶层系统交互图 | 第22-24页 |
| 2.4.2 双工件台系统功能图 | 第24-25页 |
| 2.5 下位机软件需求 | 第25-27页 |
| 2.6 小结 | 第27-28页 |
| 第3章 VxWorks 操作系统实时性与可靠性设计 | 第28-41页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 VxWorks 及其开发环境 Tornado | 第28-31页 |
| 3.3 开发环境的建立 | 第31-33页 |
| 3.4 软件可靠性设计 | 第33-37页 |
| 3.5 软件的实时性设计 | 第37-40页 |
| 3.6 小结 | 第40-41页 |
| 第4章 工件台系统网络通信方案设计 | 第41-52页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 通信协议的制订 | 第41-46页 |
| 4.2.1 上下位机通信的建立 | 第41-42页 |
| 4.2.2 通信协议的制定 | 第42-43页 |
| 4.2.3 通信的实现算法 | 第43-46页 |
| 4.3 网络通信实现 | 第46-51页 |
| 4.3.1 网络通信描述 | 第47-50页 |
| 4.3.2 实验分析 | 第50-51页 |
| 4.4 小结 | 第51-52页 |
| 第5章 双工件台系统下位机软件设计 | 第52-69页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 下位机软件总体设计 | 第52-62页 |
| 5.2.1 任务规划 | 第52-54页 |
| 5.2.2 软件详细设计 | 第54-62页 |
| 5.3 程序流程图 | 第62-66页 |
| 5.4 单轴实验台调试 | 第66-68页 |
| 5.4.1 单轴实验台介绍 | 第66-67页 |
| 5.4.2 实验结果及分析 | 第67-68页 |
| 5.5 小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 致谢 | 第75页 |