光刻机双工件台系统数学模型的建立与验证
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题研究来源及意义 | 第8-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 光刻机双工件台系统数学模型的建立与仿真 | 第16-35页 |
| 2.1 气浮面参数的计算 | 第17-20页 |
| 2.2 光刻机双工件台系统的数学模型的建立 | 第20-30页 |
| 2.2.1 光刻机单工件台时系统运动特性 | 第20-22页 |
| 2.2.2 双工件台系统驱动力与位移的关系 | 第22-30页 |
| 2.3 平衡质量块 6 自由度模型 | 第30-32页 |
| 2.4 微动台 6 自由度力学模型 | 第32-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 双工件台结构关键子部件力学分析 | 第35-47页 |
| 3.1 有限元方法的基本思想简略介绍 | 第35页 |
| 3.2 双工件台系统纵向频率分析 | 第35-37页 |
| 3.3 平衡质量块模态分析 | 第37-40页 |
| 3.4 微动台硅片承载板模态分析 | 第40-43页 |
| 3.5 气足力学分析 | 第43-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 实验方案设计 | 第47-68页 |
| 4.1 振动试验设计 | 第47-54页 |
| 4.1.1 双工件台基座振动试验准备 | 第47-48页 |
| 4.1.2 建立振动系统数学模型 | 第48-51页 |
| 4.1.3 试验结果与分析 | 第51-53页 |
| 4.1.4 平衡质量块的振动试验设计 | 第53-54页 |
| 4.2 气膜刚度测量实验设计方案 | 第54-55页 |
| 4.3 双工件台定位精度测量实验设计 | 第55-63页 |
| 4.4 阻尼器测试实验 | 第63-66页 |
| 4.5 本章小结 | 第66-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
