| 中文摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究背景 | 第10页 |
| 1.2 研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 表面等离子体激元光刻技术研究 | 第11-14页 |
| 1.2.2 表面等离子体激元超分辨显微成像研究 | 第14-16页 |
| 1.3 本论文的主要内容 | 第16-18页 |
| 第二章 表面等离子体激元的原理 | 第18-27页 |
| 2.1 表面等离子体激元的基本理论 | 第18-21页 |
| 2.1.1 局域表面等离子体 | 第18-19页 |
| 2.1.2 表面等离子体极化激元 | 第19-21页 |
| 2.2 激发表面等离子体激元的几种途径 | 第21-24页 |
| 2.2.1 棱镜耦合激发 | 第22页 |
| 2.2.2 光栅结构激发 | 第22-23页 |
| 2.2.3 近场耦合激发 | 第23页 |
| 2.2.4 波导耦合激发 | 第23-24页 |
| 2.2.5 强聚焦光束激发 | 第24页 |
| 2.3 表面等离子体的特征长度参数 | 第24-26页 |
| 2.3.1 表面等离子体波长 | 第24-25页 |
| 2.3.2 表面等离子体传播长度 | 第25页 |
| 2.3.3 表面等离子体在介质和金属中的穿透深度 | 第25-26页 |
| 2.4 时域有限差分数值计算方法 | 第26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 表面等离子体共振腔超分辨光学显微成像 | 第27-37页 |
| 3.1 表面等离子体共振腔结构分析 | 第28-29页 |
| 3.2 表面等离子体共振腔显微成像分析 | 第29-36页 |
| 3.2.1 数值模拟 | 第29-31页 |
| 3.2.2 SPRC结构的表面等离子体激元色散关系 | 第31-34页 |
| 3.2.3 SPRC结构在超分辨光学显微成像上的应用 | 第34-35页 |
| 3.2.4 SPRC腔长对光学显微镜成像分辨率的影响 | 第35-36页 |
| 3.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 双表面等离子体共振腔干涉光刻技术 | 第37-46页 |
| 4.1 表面等离子体共振腔干涉光刻技术 | 第37-38页 |
| 4.2 单双表面等离子体腔色散关系分析 | 第38-41页 |
| 4.2.1 单表面等离子体共振腔色散关系 | 第38页 |
| 4.2.2 双表面等离子体共振腔色散关系 | 第38-41页 |
| 4.3 双表面等离子体共振腔的特性分析 | 第41-42页 |
| 4.4 双共振腔干涉光刻技术不同光刻胶厚度条纹分辨率的影响 | 第42-45页 |
| 4.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 双表面等离子体共振腔超透镜成像 | 第46-54页 |
| 5.1 双表面等离子体共振腔超透镜模型 | 第46-47页 |
| 5.2 双表面等离子体共振腔超透镜成像系统数值模拟 | 第47-48页 |
| 5.3 双表面等离子体共振腔超透镜成像系统理论分析 | 第48-53页 |
| 5.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第六章 总结和展望 | 第54-56页 |
| 6.1 总结 | 第54-55页 |
| 6.2 展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
