| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第13-31页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第13-14页 |
| 1.2 多自由度微动台的国内外研究现状 | 第14-28页 |
| 1.2.1 多自由度微动台的结构形式 | 第15-27页 |
| 1.2.2 多自由度微动台的关键问题 | 第27-28页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第28-31页 |
| 第2章 多自由度磁悬浮微动台及其数学模型 | 第31-51页 |
| 2.1 引言 | 第31页 |
| 2.2 多自由度磁悬浮微动台的基本结构与运行原理 | 第31-35页 |
| 2.3 多自由度磁悬浮微动台的磁场解析 | 第35-45页 |
| 2.3.1 洛伦兹平面电机的磁场解析 | 第35-40页 |
| 2.3.2 磁悬浮重力补偿器的磁场解析 | 第40-45页 |
| 2.4 多自由度磁悬浮微动台的推力与悬浮力计算 | 第45-50页 |
| 2.4.1 洛伦兹平面电机的推力计算 | 第45-47页 |
| 2.4.2 磁悬浮重力补偿器的悬浮力计算 | 第47-50页 |
| 2.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第3章 多自由度磁悬浮微动台的力特性分析与优化 | 第51-81页 |
| 3.1 引言 | 第51页 |
| 3.2 洛伦兹平面电机推力波动的分析与抑制 | 第51-60页 |
| 3.2.1 端部磁场对电机推力的影响 | 第51-53页 |
| 3.2.2 法向偏移对电机推力的影响 | 第53-55页 |
| 3.2.3 俯仰偏转对电机推力的影响 | 第55-57页 |
| 3.2.4 非等高Halbach永磁阵列的研究 | 第57-60页 |
| 3.3 磁悬浮重力补偿器悬浮力刚度的分析与优化 | 第60-80页 |
| 3.3.1 悬浮力刚度对微动台隔振性能的影响 | 第60-62页 |
| 3.3.2 传统次级结构的悬浮力及刚度分析 | 第62-68页 |
| 3.3.3 Halbach次级结构的悬浮力及刚度分析 | 第68-75页 |
| 3.3.4 零刚度位置偏移的原因分析 | 第75-80页 |
| 3.4 本章小结 | 第80-81页 |
| 第4章 多自由度磁悬浮微动台电磁设计方法的研究 | 第81-111页 |
| 4.1 引言 | 第81页 |
| 4.2 洛伦兹平面电机电磁设计方法的研究 | 第81-99页 |
| 4.2.1 洛伦兹平面电机的设计原则 | 第81-82页 |
| 4.2.2 主要尺寸关系式的推导 | 第82-85页 |
| 4.2.3 次级结构参数的设计 | 第85-91页 |
| 4.2.4 初级结构参数的设计 | 第91-94页 |
| 4.2.5 样机与实验测试 | 第94-99页 |
| 4.3 磁悬浮重力补偿器电磁设计方法的研究 | 第99-109页 |
| 4.3.1 设计原则与设计流程 | 第99-100页 |
| 4.3.2 零刚度位置的修正 | 第100-104页 |
| 4.3.3 永磁环方案优化分析 | 第104-105页 |
| 4.3.4 样机与实验测试 | 第105-109页 |
| 4.4 本章小结 | 第109-111页 |
| 第5章 多自由度磁悬浮微动台温升与冷却问题研究 | 第111-131页 |
| 5.1 引言 | 第111页 |
| 5.2 洛伦兹平面电机温度场计算与冷却结构设计 | 第111-125页 |
| 5.2.1 水套式冷却结构冷却能力测试 | 第111-115页 |
| 5.2.2 洛伦兹平面电机冷却结构设计 | 第115-116页 |
| 5.2.3 洛伦兹平面电机温度场计算 | 第116-122页 |
| 5.2.4 洛伦兹平面电机温升及冷却实验 | 第122-125页 |
| 5.3 磁悬浮重力补偿器温度场分析与冷却结构设计 | 第125-129页 |
| 5.3.1 磁悬浮重力补偿器冷却结构设计 | 第125-127页 |
| 5.3.2 磁悬浮重力补偿器温度场计算 | 第127-128页 |
| 5.3.3 磁悬浮重力补偿器温升及冷却实验 | 第128-129页 |
| 5.4 本章小结 | 第129-131页 |
| 结论 | 第131-133页 |
| 参考文献 | 第133-141页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第141-144页 |
| 致谢 | 第144-145页 |
| 个人简历 | 第145页 |